X線結晶方位測定装置 DDCOM
コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現
コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現
コンパクトパッケージで超高速かつ柔軟な結晶方位測定を実現
超高速結晶方位を実現する完全自動試料水平3軸X線回折装置
ウェーハの方位測定と選別のための高速、高精度、完全装備のソリューション
統合可能なウェーハ方位ソリューション
完全に自動化されたインライン方向とインゴット、ブール、パックの処理
X線結晶方位測定装置 DDCOMコンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現 |
X線結晶方位測定装置 SDCOMコンパクトパッケージで超高速かつ柔軟な結晶方位測定を実現 |
Omega/Theta超高速結晶方位を実現する完全自動試料水平3軸X線回折装置 |
Wafer XRD 200ウェーハの方位測定と選別のための高速、高精度、完全装備のソリューション |
Wafer XRD 300統合可能なウェーハ方位ソリューション |
XRD - OEM完全に自動化されたインライン方向とインゴット、ブール、パックの処理 |
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技術 | ||||||
XRD分析 | ||||||
結晶方位 | ||||||
システムタイプ | ||||||
システムタイプ | ベンチトップ | ベンチトップ | 床置き | 床置き | 床置き | 測定ヘッド |
ステージ | ||||||
マッピングステージ | 該当なし | |||||
研磨ステージ | 該当なし | |||||
スタッキングステージ | 該当なし | |||||
管球設定 | ||||||
管球出力 | 30kV / 1mA | 30kV / 1mA | 30kV / 10mA | 30kV / 1mA | 30kV / 1mA | 30kV / 1mA |
冷却システム | 空冷 | 空冷 | 水冷 | 空冷 | 空冷 | 空冷 |
機能 | ||||||
マーキング | *ベーシック | 該当なし | ||||
光学ジオメトリー認識 | ブールの場合はオプション | ブールの場合はオプション | 近日中に対応 | |||
ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質) | 該当なし | |||||
Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ) | 該当なし | |||||
仕様 | ||||||
スループット速度 | 10秒以上 | 高さ調節時間 + 10秒 | 高さ調節時間 + 10秒 | ウェーハ25枚あたり10分 | -- | 装置による |