X線結晶方位測定装置 Crystal Orientation 製品

ウェーハとインゴットの迅速かつ正確な方位決定

カタログダウンロード

当社の結晶方位ソリューションは、ブール、インゴット、パック、ウェーハの用途を念頭に置いて設計されています。当社の製品は、さまざまな環境でシンプルかつ超高速の結晶方位測定を実現します。

完全に自動化されたオンライン分析から迅速な品質チェックまで、マルバーン・パナリティカルのX線結晶方位測定装置が対応します。

X線結晶方位測定装置 DDCOM

コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現

X線結晶方位測定装置 DDCOM

X線結晶方位測定装置 SDCOM

コンパクトパッケージで超高速かつ柔軟な結晶方位測定を実現

X線結晶方位測定装置 SDCOM

Omega/Theta

超高速結晶方位を実現する完全自動試料水平3軸X線回折装置

Omega/Theta

Wafer XRD 200

ウェーハの方位測定と選別のための高速、高精度、完全装備のソリューション

Wafer XRD 200

XRD - OEM

完全に自動化されたインライン方向とインゴット、ブール、パックの処理

XRD - OEM
X線結晶方位測定装置 DDCOM

X線結晶方位測定装置 DDCOM

コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現

X線結晶方位測定装置 SDCOM

X線結晶方位測定装置 SDCOM

コンパクトパッケージで超高速かつ柔軟な結晶方位測定を実現

Omega/Theta

Omega/Theta

超高速結晶方位を実現する完全自動試料水平3軸X線回折装置

Wafer XRD 200

Wafer XRD 200

ウェーハの方位測定と選別のための高速、高精度、完全装備のソリューション

Wafer XRD 300

Wafer XRD 300

統合可能なウェーハ方位ソリューション

XRD - OEM

XRD - OEM

完全に自動化されたインライン方向とインゴット、ブール、パックの処理

技術
XRD分析
結晶方位
システムタイプ
システムタイプ ベンチトップ ベンチトップ 床置き 床置き 床置き 測定ヘッド
ステージ
マッピングステージ 該当なし
研磨ステージ 該当なし
スタッキングステージ 該当なし
管球設定
管球出力 30kV / 1mA 30kV / 1mA 30kV / 10mA 30kV / 1mA 30kV / 1mA 30kV / 1mA
冷却システム 空冷 空冷 水冷 空冷 空冷 空冷
機能
マーキング *ベーシック 該当なし
光学ジオメトリー認識 ブールの場合はオプション ブールの場合はオプション 近日中に対応
ロッキングカーブ(サンプルの結晶品質) 該当なし
Theta Scan (基本光学系を使用した方位測定の場合のみ) 該当なし
仕様
スループット速度 10秒以上 高さ調節時間 + 10秒 高さ調節時間 + 10秒 ウェーハ25枚あたり10分 -- 装置による