X線結晶方位測定装置SDCOM – 卓上型XRDシステム

概要

迅速かつ正確な結晶方位測定がこれまでになく簡単に実施できるようになりました。使いやすいコンパクトXRDであるSDCOMをご利用ください。方位角スキャン方式は超高速測定が可能になり、結果は5秒以内に返されます。

SDCOMは、最高0.01^oという最高レベルの精度を実現し、結晶の横方向のマーキングオプションを含むさまざまなサンプルホルダと移動用治具を備えた使いやすいコンパクトな製品で、ウェハ処理や研究における多くのアプリケーションに理想的なソリューションです。

方位角スキャン方式では、1回の測定回転だけで、方位を完全に決定するために必要なデータをすべて収集できます。これにより、精度を損なうことなく10秒以内に結果が得られます。

サンプルを360^o回転させ、X線源と検出器を1回転あたり一定数の反射が得られるように配置します。この反射により、回転軸に対する結晶格子の方位を最高0.01^oという高精度で測定することができます。

SDCOMは軽量でコンパクトな形状であるため、研究および産業プロセスに簡単に統合できます。XRD Suiteソフトウェアは強力かつ直感的であるため、さまざまなユーザーにとって使いやすく操作が簡単です。

SDCOMの鍵となるのは柔軟性であり、SDCOMが測定できる材料の範囲において特に顕著です。SDCOMは直径2 mm～300 mmの結晶を測定可能

柔軟性を向上させるため、SDCOMはTheta Scanにも対応しています。これにより、幅広い材料とオフカットに対応できます。

また、SDCOMの用途の可能性を高めることができるさまざまなサンプルホルダと移動用治具も用意されており、ワークフローとの互換性が確保されます。手動および電動ウェハマッピングステージも利用できます。

測定可能な材料の例(方位角スキャン方式):

立方晶、任意の不明な方位: Si、Ge、GaAs、Gap、InP
立方晶、特殊な方位: Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC₃C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl₂O₄、SrTiO₃、LaTiO₃
正方晶: MgF₂、TiO₂、SrLaAlO₄
六方晶と三方晶: SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO₃、SiO₂ (石英)、Al₂O₃ (サファイア)、GaPO₄、La₃Ga₅SiO₁₄
斜方晶: Mg₂SiO₄、NdGaO₃
その他の単結晶材料

SDCOMは、サンプルに応じて最大0.01^oの優れた精度を提供し、1 mm以上のサイズの結晶を測定できます。この精度は、方位角スキャン方式によって最高速度でも維持され、1回転の測定で結晶方位の完全な特性評価が可能になります。結晶の側面方位をマーキングする機能を含めるオプションも用意されています。

手動操作と直感的なソフトウェア設計により、SDCOMは使いやすく、さまざまなタイプのユーザーに対応し、経験レベルが異なる研究と業界の両方において実用的です。

SDCOMのX線管球は空冷式なので、チラーや冷却水回路は不要です。SDCOMは設置面積が小さく、エネルギー消費が最小限に抑えられ、ランニングコストも最小限に抑えられます。

面内方向のマーキングと測定: SDCOMは、面内方向のマーキングや測定など、ウェハの製造および処理におけるさまざまな用途に最適な、超高速で高精度な結晶方位測定を提供します。軽量でポータブルなので、プロセスで必要な場所に配置できます。; SDCOMは、1mmまでの微小結晶を高精度に測定でき、幅広い材料に対応しているため、半導体業界の複雑に変化するニーズに対応できます。

製品品質管理: 日常的なプロセス制御には、速度、精度、再現性が求められますが、SDCOMはそれを実現します。デスクトップフォーマットと空冷式X線管球により、超高速の測定速度により、ランニングコストに大きな影響を与えることなく生産性を向上させることができます。

材料研究: SDCOMは、ラボ内の小さな設置面積内でさまざまな種類の結晶を測定できるため、標準的な研究ワークフローに最適です。エネルギー消費を最小限に抑え、冷却水が不要な空冷X線管球を採用しているため、ランニングコストを低く抑えられます。; SDCOMは扱いやすく、手動で簡単に操作できるため、さまざまなユーザーがいる研究室にとって実用的なソリューションとなります。

X線源	30 W空冷X線管、Cuアノード
検出器	シンチレーションカウンター技術
試料ホルダ	精密なターンテーブル、設定精度0.01°、カスタマイズされた試料ホルダと移動用治具
サンプル径	最小Ø2 mm、最大200 mm
雰囲気温度	≤ 30°C
PCの要件	Windows 10以降.NET Frameworkの更新、イーサネットポート2つ
電源要件	100～230 V、単相、500 W
寸法	600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (H)
重量	ca、100 kg
認証	ISO 9001ガイドラインに基づいて製造、CE準拠
すべての技術パラメータは、研究開発に基づいて変更される可能性があります。