概要
迅速かつ正確な結晶方位測定がこれまでになく簡単に実施できるようになりました。使いやすいコンパクトXRDであるSDCOMをご利用ください。方位角スキャン方式は超高速測定が可能になり、結果は5秒以内に返されます。
SDCOMは、最高0.01oという最高レベルの精度を実現し、結晶の横方向のマーキングオプションを含むさまざまなサンプルホルダと移動用治具を備えた使いやすいコンパクトな製品で、ウェハ処理や研究における多くのアプリケーションに理想的なソリューションです。
特長と利点
超高速かつ高精度: 方位角スキャン方式
方位角スキャン方式では、方位を完全に決定するために必要なすべてのデータを収集するために試料を一回転することだけが必要です。これにより、数秒という非常に短い測定時間で高精度が提供されます。
サンプルを360o回転させ、X線源と検出器を1回転あたり一定数の反射が得られるように配置します。この反射により、回転軸に対する結晶格子の方位を短時間で高精度に測定することができます。
![超高速かつ高精度: 方位角スキャン方式](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/3296c4dd-0bb8-4432-87c4-af82010b6e83/shutterstock_1656251128_Original%20file.jpg?quality=60)
コンパクトで高い汎用性
X線結晶方位測定装置SDCOMは軽量かつコンパクトなため、簡単に移動でき、研究や産業など用途に関わらず、プロセスに簡単に適合します。XRD Suiteソフトウェアは効果的かつ直感的で、さまざまなユーザーにとって使いやすく、簡単に操作することができます。
SDCOMの鍵となるのは柔軟性です。これは、SDCOMが測定可能な材料の範囲によりとりわけ明らかです。SDCOMはサイズ1 mmの結晶から測定でき、次のような材料を測定できます。
- 立方晶、任意の不明な方位: Si、Ge、GaAs、Gap、InP
- 立方晶、特殊な方位: Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl2O4、SrTiO3、LaTiO3
- 正方晶: MgF2、TiO2、SrLaAlO4
- 六方晶と三方晶: SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO3、SiO2 (石英)、Al2O3 (サファイア)、GaPO4、La3Ga5SiO14
- 斜方晶: Mg2SiO4、NdGaO3
また、SDCOMのアプリケーションの可能性を高めることができるさまざまなサンプルホルダと移動用治具も用意されており、ワークフローとの互換性が確保されます。手動および電動ウェハマッピングステージも利用できます。
![コンパクトで高い汎用性](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/90370b49-c764-42f0-9c45-af560098009c/shutterstock_2159247015_silicone-wafer-under-microscope_Original%20file.jpg?quality=60)
ユーザーフレンドリーな優れた精度
SDCOMは、サンプルに応じて最大0.01oの優れた精度を提供し、1 mm以上のサイズの結晶を測定できます。この精度は、方位角スキャン方式によって最高速度でも維持され、1回転の測定で結晶方位の完全な特性評価が可能になります。結晶の側面方位をマーキングする機能を含めるオプションも用意されています。
手動操作と直感的なソフトウェア設計により、SDCOMは使いやすく、さまざまなタイプのユーザーに対応し、経験レベルが異なる研究と業界の両方において実用的です。
![ユーザーフレンドリーな優れた精度](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/89b6e832-e5be-478d-8431-af82010b73ee/shutterstock_1962503557_Original%20file.jpg?quality=60)
コスト効率が高い
SDCOMのX線管球は空冷式なので、冷却水は不要です。SDCOMは設置面積が小さく、エネルギー消費が最小限に抑えられ、ランニングコストも最小限に抑えられます。
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主な用途
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- 面内方向のマーキングと測定
- SDCOMは、面内方向のマーキングや測定など、ウェハの製造および処理におけるさまざまな用途に最適な、超高速で高精度な結晶方位測定を提供します。軽量でポータブルなので、プロセスで必要な場所に配置できます。
- SDCOMは、1mmまでの微小結晶を高精度に測定でき、幅広い材料に対応しているため、半導体業界の複雑に変化するニーズに対応できます。
- 製品品質管理
- 日常的なプロセス制御には、速度、精度、再現性が求められますが、SDCOMはそれを実現します。デスクトップフォーマットと空冷式X線管球により、超高速の測定速度により、ランニングコストに大きな影響を与えることなく生産性を向上させることができます。
- 材料研究
- SDCOMは、ラボ内の小さな設置面積内でさまざまな種類の結晶を測定できるため、標準的な研究ワークフローに最適です。エネルギー消費を最小限に抑え、冷却水が不要な空冷X線管球を採用しているため、ランニングコストを低く抑えられます。
- SDCOMは扱いやすく、手動で簡単に操作できるため、さまざまなユーザーがいる研究室にとって実用的なソリューションとなります。
仕様
X線源 | 30 W空冷X線管、Cuアノード |
検出器 | シンチレーションカウンター技術 |
試料ホルダ | 精密なターンテーブル、設定精度0.01°、カスタマイズされた試料ホルダと移動用治具 |
サンプル径 | 最小Ø2 mm、最大200 mm |
雰囲気温度 | ≤ 30°C |
PCの要件 | Windows 10以降.NET Frameworkの更新、イーサネットポート2つ |
電源要件 | 100~230 V、単相、500 W |
寸法 | 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (H) |
重量 | ca、100 kg |
認証 | ISO 9001ガイドラインに基づいて製造、CE準拠 |
すべての技術パラメータは、研究開発に基づいて変更される可能性があります。 |
付属品
サポート
サポートサービス
- 電話とリモートサポート
- 予防メンテナンスと点検
- 柔軟なカスタマーケア契約
- パフォーマンス認定書
- ハードウェアおよびソフトウェアアップグレード
- ローカルおよびグローバルサポート
専門知識
- 元素および構造半導体計測のためのターンキーソリューション
- 自動化とコンサルティング
- トレーニングと教育