XRD-OEM – 自動XRDシステム

概要

XRD-OEMは、結晶方位計測のレベルを一段引き上げます。このX線回折システムは、研磨や鋸引きの厳しい条件に耐えるように設計されており、高い精度と速度を確保しながら、あらゆる処理ラインとのシームレスな統合を実現します。

XRD-OEMは、あらゆる処理ラインに簡単に統合できるように設計されており、装置間でサンプルを移動することなく、合理化された効率的で連続的な方位測定を実現できます。

XRD-OEMは、耐久性と堅牢性を重視して構築されているので、研磨プロセスや鋸引きプロセスなどの過酷な環境に導入でき、高い生産性とスループットを確保しながら信頼性を維持します。

XRD-OEMは、サンプルあたりの測定をわずか10秒で完了するので、精度を損なうことなく高い生産速度を保証します。方位角スキャン方式を使用するため、標準偏差は0.003^o未満です。

XRD-OEMは、フラットかノッチかにかかわらず幾何学的基準を検出できます。これは、鋸引きプロセスや研磨プロセスの前に大きなインゴットを事前に位置合わせする際に不可欠です。

平面と円周の両方で結晶方位を決定することもできるため、汎用性が高まります。

製造および処理: XRD-OEMは、多忙な実稼働環境を念頭に置いて設計されています。インライン装置として、インゴット、ブール、パネルの測定と処理の効率的なソリューションとして、自動化された高スループット設定に統合する準備ができています。Si、SiC、GaAsなど、さまざまな化合物半導体材料を測定でき、空冷式でコンパクトなサイズなので、お客様のプロセスにおいて、強力かつコスト効率の高い追加製品となります。

ソーイングまたは研磨前のインゴット事前位置合わせ: XRD-OEMは、正確な事前位置合わせ機能により、さらなる処理ステップの前に正確な位置決めと方位制御を可能にします。

品質管理: 迅速な方位測定は生産に不可欠であり、XRD-OEMは高品質のデータを迅速に提供します。XRD-OEMは、新規または既存の自動化プロセスにシームレスに適合することで、将来の自動化された製造に備えることができます。