DDCOM – 卓上型XRDシステム

概要

指先で簡単に超高速、正確(最大1/100°)の結晶方位を測定できます。DDCOMでは、上面照射の測定配置により、従来の方式よりも100倍以上の速さで信頼性の高い結果を取得し、時間をさらに節約できます。この汎用性の高い装置は、空冷式X線管球とポータブル設計を採用しているため、ランニングコストを削減し、利便性を最大限に高め、品質管理、マーキング、研究用途に最適です。

特長と利点

超高速高精度

当社独自のスキャン方式は、試料の1回転スキャンだけで結晶方位の決定に必要なデータをすべて収集できるため、数秒で(単回転)で正確な結果が得られます。

材料固有の装置配置により、回転軸に対する結晶格子の方位を超高速で測定できるようになり、スキャン回転数に応じて精度が向上します。

コンパクトで使いやすいフォーマット

DDCOMのコンパクトに設計より、システムはあらゆる設定に適合します。ソフトウェアは効果的かつ直感的で、さまざまなユーザーにとって使いやすく、簡単に操作することができます。

高精度で効率的な制御

切削、研磨、ラッピングプロセスの制御を、最大1/100°の高精度で維持します。DDCOMは、単結晶の完全な格子方位を提供し、結晶方位の方位角の設定と結マーキング用に設計されています。

事前にプログラムされた結晶パラメータにより、さまざまな構造の任意の未知の方位を決定できるようになり、ワークフローを改良して効率を向上させることができます。さまざまなステージアクセサリにより、異なるプロセスステップでの測定が可能になります。

用途が広く、コスト効率が高い

DDCOMは、さまざまなサンプルタイプを分析する必要がある研究環境と生産環境の両方に適した装備を備えています。DDCOMは、エネルギー消費が低く、冷却水が不要な空冷X線管球により、運用コストを節約できます。

この装置は、さまざまな構造を持つさまざまな材料を測定できるため、汎用性が高くあらゆる研究室で使用できます。測定可能な材料の例を次に示します。

立方晶、任意の不明な方位: Si、Ge、GaAs、Gap、InP
立方晶、特殊な方位: Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC₃C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl₂O₄、SrTiO₃、LaTiO₃
正方晶: MgF₂、TiO₂、SrLaAlO₄
六方晶と三方晶: SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO₃、SiO₂ (石英)、Al₂O₃ (サファイア)、GaPO₄、La₃Ga₅SiO₁₄
斜方晶: Mg₂SiO₄、NdGaO₃

主な用途

切削、研磨、ラッピング時の結晶方位制御: DDCOM XRDは、設置面積が小さく、自動化機能を備え測定速度が速いため、結晶方位を測定する便利で簡単な方法を提供し、切削、研磨、ラッピングのプロセスを正確かつ効率的に制御できます。

結晶方位の設定とマーキング: DDCOMは、結晶方位の方位角設定とマーキングを行うための機能を装備しています。ウェハマーキングは、優れた精度と迅速なモニタリングに依存しており、DDCOMはプロセスに必要な速度と精度を提供します。また、軽量でポータブルなので、既存の配置や新しいプロセスの一部として簡単に統合できます。

品質管理: 測定速度とスループットは、製品品質管理にとって極めて重要ですが、日常的な測定では、ランニングコストを低く抑えることも重要です。DDCOMは、上面照射の測定配置によりスループットと生産性が効率性に優れているだけでなく、エネルギー消費においても効率性が高いため、品質を損なうことなく、コストを低く抑え、プロセスを最適に実行できます。

材料研究: DDCOMは、ラボ内の小さな設置面積内でさまざまな種類の結晶を測定できるため、標準的な研究ワークフローに最適です。エネルギー消費を最小限に抑え、冷却水が不要な空冷X線管球を採用しているため、ランニングコストを低く抑えられます。DDCOMは、さまざまな経験レベルに対応し、操作も簡単なため、研究室にとって実用的なソリューションとなっています。

仕様

技術仕様
X線源	30 W空冷X線管、Cuアノード
検出器	シンチレーションカウンター2個
試料ホルダ	精密ターンテーブル、設定精度0.01°、定義されたサンプルの位置決めとマーキング用ツール
物理的仕様
寸法	600 mm×600 mm×850 mm
重量	80 kg
電源	100～230 V、500 W、単相
室温	≤ 30°C
構成オプション
ウェハマッピング用装置(最大直径225 mm)
カセットからの自動ローディング用装置
測定可能な材料の例
立方晶/任意の不明な方向: Si、Ge、GaAs、GaP、AlAs、AlP、InP、NaCl、AgCl、CaF₂
立方晶/特殊な方位: Ag、Au、Ni、Pt、GaSb、InAs、InSb、AlSb、ZnTe、CdTe、SiC 3C、PbS、PbTe、SnTe、MgO、LiF、MgAl₂O₄、SrTiO₃、LaTiO₃
正方晶: MgF₂、TiO₂、SrLaAlO₄
六方晶/三方晶: SiC 2H、4H、6H、15R、GaN、ZnO、LiNbO₃、SiO₂ (石英)、Al₂O₃ (サファイア)、GaPO₄、La₃Ga₅SiO₁₄
斜方晶: Mg₂SiO₄、NdGaO₃
お客様の要求に応じたその他の材料

付属品

結晶方位または表面の歪みを調査およびマッピングするためのオプションの機能拡張。

ウェハマッピング用装置

カセットからサンプルを自動ロードできるようにして、処理時間とワークフロー効率を向上させる追加ツール。

カセットからの自動ローディング

サポート

サポートサービス

電話とリモートサポート
予防メンテナンスと点検
柔軟なカスタマーケア契約
パフォーマンス認定書
ハードウェアおよびソフトウェアアップグレード
ローカルおよびグローバルサポート

専門知識

元素および構造半導体計測のためのターンキーソリューション
自動化とコンサルティング
トレーニングと教育

X線結晶方位測定装置 DDCOM

コンパクトパッケージで超高速自動結晶方位測定を実現

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