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X線回折装置(XRD)

マルバーン・パナリティカルのX線回折装置は、品質が非常に高い回折データを取得するように設計され、別のアプリケーションにすばやく切り替えられる柔軟性を備えています。

X線回折装置(XRD (x-ray-diffractometers))とは

X線回折装置(XRD)は、X線の回折現象を利用して物質の構造を解析する装置です。X線は、波長が約0.1~10nmの電磁波です。これは、原子の間隔と同程度です。X線を物質に照射すると、X線は原子によって散乱されます。散乱されたX線の強度は、散乱方向によって異なります。この散乱方向と強度の違いを解析することで、物質の結晶構造を調べることができます。

xrd_Aerisへのリンク X線回折装置(XRD)Empyreanへのリンク [products_all_jp.png.png] products_all_jp.png.png XRDの原理を学ぶ     

業界別ソリューション

X線回折装置(XRD)の種類とその特性

X線回折装置は、大きく分けて以下の3種類があります。

種類 特性 適用範囲 詳細
粉末X線回折装置 高精度粉末解析
  • 無機物
  • 有機物
  • 金属セラミックス
  • ポリマー
など
粉末状の試料にX線を照射して分析する方法です。試料の結晶構造や格子定数、結晶子サイズ、ひずみなど、さまざまな情報を高精度で測定できます。
単結晶X線回折装置 詳細な結晶構造構造解析 単結晶材料 単結晶の試料にX線を照射して分析する方法です。粉末X線回折装置よりも詳細な結晶構造解析が可能です。
薄膜X線回折装置 薄膜分析
  • 半導体デバイス
  • 光学素子
など
薄膜試料にX線を照射して分析する方法です。薄膜の厚さや結晶構造、界面構造などを分析できます。

X線回折装置の基本的な構造

X線回折装置は、大きく分けて以下の3つの部分で構成されています。

  1. X線源:X線を発生させる装置です。一般的には、銅やクロムなどの金属ターゲットに電子ビームを照射してX線を発生させます。
  2. 試料台:分析対象の物質を載せる台です。
  3. 検出器:散乱されたX線を検出する装置です。一般的には、プロポーショナル検出器や半導体検出器が使用されます。

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当社の高精度で高速な XRD システムに驚かれることを覚悟してください。正確な結果は 5 分以内に得られます。
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X線回折装置(XRD)Empyreanシリーズ

当社の新しく設計されたマルチコア光学系により、手動介入なしで最も多様な測定が可能になります。
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X'Pert³シリーズ

当社の材料研究用回折計の長く成功した歴史は、新世代の X'Pert™ にも引き継がれています。
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XRD(X線回折)技術の概要

X線回折法(XRD) は汎用性の高い非破壊分析手法であり、粉末サンプル、固体サンプル、液体サンプルの相組成、結晶構造、配向などの物性を分析するために使用します。

相の同定は、未知のサンプルから得られたX線回折パターンとリファレンスデータベースのパターンを比較することで実行できます。

このプロセスは、事件現場の捜査で指紋を照合するようなものです。最も包括的な化合物データベースは、ICDD (International Centre of Diffraction Data) によって維持管理されています。

また、実測による純粋相の回折パターン、または科学技術文献で公開されているパターンや独自の測定で得られたパターンからリファレンスデータベースを構築することもできます。

マルバーン・パナリティカルのEmpyreanなどの最新のコンピュータ制御のXRDシステムは、定性分析ソフトウェア(HighScoreなど) と組み合わせて使用します。このようなシステムでは自動ルーチンを使用することで、複雑な複合混合物による回折パターンであっても、個々の成分を分析および解釈することができます。

卓上型・XRD Aeris

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X線回折装置(XRD)Empyreanシリーズ

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分析ニーズに対応する多目的ソリューション

X'Pert³シリーズ

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強化されたX’Pertプラットフォーム

X線結晶方位測定装置       Crystal Orientation 製品

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ウェーハとインゴットの迅速かつ正確な方位決定

技術
XRD分析
測定タイプ
粒子形状
粒子径
結晶構造の解析
相同定
位相の定量化
汚染物質の検出と分析
エピタキシー分析
界面粗さ
3D構造/画像処理
薄膜測定
残留応力
Crystal orientation
Cleanroom ISO 4
SECS/GEM