X'Pert³ MRD
X'Pert™ MRD システムは、研究からプロセス開発、プロセス制御まで、高度で革新的な X 線回折ソリューションを提供します。
特徴としては以下が挙げられます
- ウェハ最大直径：100mm
- SECS/GEM
- クリーンルーム ISO 4
強化されたX’Pertプラットフォーム
評価を得ているX'Pertプラットフォームが、Malvern PanalyticalのX'Pert³シリーズのX線回折システムでも採用されています。 新しい制御回路を搭載し、最新の最も厳格なX線基準と安全基準に準拠し、環境に配慮し高い信頼性を誇るX'Pert³プラットフォームが用意されています。
• 最長の耐用期間を誇るCRISPを搭載した入射光コンポーネント
• エアー式シャッターとビームアッテネータによる最大稼働時間
• 第2世代PreFIX技術により新しいアプリケーションに簡単に拡張
• 迅速で信頼性が高く、ツール不要な管球フォーカスの変更
• インターネットに直接接続できる新しい制御回路
• 最も厳格な安全規制に準拠
X'Pert™ MRD システムは、研究からプロセス開発、プロセス制御まで、高度で革新的な X 線回折ソリューションを提供します。
特徴としては以下が挙げられます
追加の PreFIX 取り付けプラットフォームにより、X 線ミラーと高解像度モノクロメーターをインラインで取り付けることができ、入射ビームの強度が大幅に増加します。
特徴としては以下が挙げられます
X'Pert³ MRD多目的研究開発XRDシステム |
X'Pert³ MRD XL薄膜単結晶解析X線回折装置 |
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|---|---|---|
| 技術 | ||
| XRD分析 | ||
| 測定タイプ | ||
| 相同定 | ||
| 位相の定量化 | ||
| 薄膜測定 | ||
| 残留応力 | ||
| 界面粗さ | ||
| エピタキシー分析 | ||
| 配向分析 | ||
| 逆格子空間解析 | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||