薄膜測定

X線薄膜解析

X線測定は、異なる種類の層構造LEDなどの開発、大量生産において薄膜解析を行うのに最適なツールです。 

X線計測技術は、新しいレイヤーベースのアプリケーションと技術の開発を通じて、業界の進歩に追いついてきました。 

これらの技術は、半導体デバイスの研究開発段階からパイロット生産、そして本格的な自動製造に至るまで不可欠なツールとして機能し続けます。

薄膜解析ソリューション

XRD、XRR、およびXRFのような、X線方式に基づいた測定ツールは、極薄の単層スタックから複雑な多層スタックまでの重要な薄膜パラメータへの、迅速で非破壊的かつ信頼性のある正確なアクセスが提供されることが実証されています。

当社の薄膜解析装置の詳細については、以下をご覧ください。

Zetium

Zetium

ハイエンド波長分散蛍光X線分析装置

Axios FAST

Axios FAST

優れたサンプルスループット

2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

Epsilon 4

Epsilon 4

高速で正確なアットラインの元素分析

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

多目的研究開発XRDシステム

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

薄膜単結晶解析X線回折装置

測定タイプ
薄膜測定
技術
波長分散型蛍光X線
XRD分析
エネルギー分散型X線分析