X’Pert³ MRD XL Automation

簡介

MRD XL Automation 為我們最先進的晶圓分析儀器提供 SECS/GEM 功能，實現比以往更迅速、更潔淨且更有效率的半導體製程。藉由設備和主機電腦 (搭載 SECS/GEM 通訊協定) 之間的穩定雙向通訊，可讓整個晶圓分析程序自動化 – 從晶圓選取、量測到數據上傳皆含括在內。

除了更迅速、更有效率的分析，全自動化也代表著不需要額外人為手動介入。由於人員是晶圓分析生產過程中的主要汙染源，此全自動化功能對於確保研究和生產環境的潔淨度維持具有極大的優勢。

特點與優勢

先進的自動化功能

可完全客製化選項

具前瞻性的功能

模組化解決方案

完整機台維護服務

• 先進的自動化功能
  MRD XL Automation 軟體讓晶圓分析程序全自動化，不需要額外人力介入
  
  
• 完全客製化選項
  MRD XL Automation 軟體具備完全客製化的架構，代表著可調整配置以滿足您的個別需求
  
  
• 具前瞻性的功能
  由於自動化位於半導體創新的最重要位置，因此 MRD XL Automation 可讓您的操作跟上產業快速成長的腳步
  
  
• 模組化解決方案
  X’Pert ³ MRD XL 為模組化系統。有多樣化的工具和功能可供選用，讓您能輕鬆地根據公司需求進行設定。這種全方位解決方案代表您可以減少在新儀器方面的額外投資
  
  
• 完整維護支援
  歸功於 MRD XL 儀器的頂級服務和支援，此設備將隨著您一同成長
  

產品服務

我們提供多項產品服務，以確保您的儀器永遠保持在最佳狀態，進而發揮一流的性能。從維修工程師到全球客戶支援網路，我們會持續提供協助、建議和現場技術支援。若您有任何需求，請聯絡我們！

• 現場零件更換與校準
• 全球客戶支援團隊