X'Pert³

新一代的 X’Pert 平台

Malvern Panalytical 的 X'Pert³ 系列 XRD 繞射系統將延續發揚 X'Pert 平台的輝煌成果。具備嶄新的嵌入式電子控制平台，加上符合最新、最嚴謹的 X 光安全規範，以及在環境友善和可靠性方面的進展，X'Pert³ 平台已為未來發展做好準備。

• 具備 CRISP，入射光模組可達到最長壽命 
• 具備氣動快門和光強衰減器，可達最長正常運行時間 
• 歸功於第 2 代 PreFIX 技術，可輕鬆擴充新應用 
• 無需工具即可進行快速可靠的X光管焦點位置變換 
• 新的嵌入式電子控制系統，可直接連線至網際網路 
• 符合最嚴謹的安全法規

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X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD 系統提供從研究到製程開發和製程控制的先進和創新的 X 射線衍射解決方案。

特點包括

  • 晶圓最大直徑：100毫米
  • 證券交易委員會/創業板
  • 無塵室 ISO 4
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD XL

額外的 PreFIX 安裝平台允許串聯安裝 X 射線鏡和高分辨率單色儀，從而顯著增加入射光束的強度。

特點包括

  • 晶圓最大直徑：300毫米
  • 證券交易委員會/創業板
  • 無塵室 ISO 4
X'Pert³ MRD XL
X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

新一代高分辨X射线衍射仪
X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

能滿足研發與品管的自動化 XRD 系統
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技術類型
X光繞射(XRD)
量測類型
相鑑定
相定量
薄膜測量
殘餘應力
界面粗糙度
磊晶分析
紋理分析
倒置空間分析
Wafer max. diameter 100 mm 300 mm
SECS/GEM
Cleanroom ISO 4