薄膜精密量測

X 光精密量測是理想的薄膜分析工具，適用於各種不同層級結構之微型與光電裝置的開發與大量生產。 

透過新的分層式應用和技術的開發，各種 X 光精密量測技術已能跟上業界的發展腳步。 

從半導體裝置的研發、試生產一直到全面自動化製造階段，這些技術會持續作為重要的工具。