X선 박막 분석
X선 계측은 층 구조의 종류가 다양한 마이크로 및 광전자 소자의 개발 및 대량 생산 시 박막 분석에 이상적인 도구입니다.
X선 계측 기술은 새로운 레이어 기반 애플리케이션과 기술 개발을 통해 업계의 발전과 함께 발전했습니다.
그리고 R&D 단계부터 시범 생산, 본격적인 자동화된 반도체 장비 제조에 이르기까지 필수적인 도구로 계속 사용되고 있습니다.
Zetium구성요소의 탁월함 |
Axios FAST고속 샘플 처리 |
2830 ZT고급 반도체 박막 계측학 솔루션 |
Epsilon 4신속하고 정확한 앳라인 원소 분석 |
X'Pert³ MRD다목적 연구 및 개발 XRD 시스템 |
X'Pert³ MRD XL다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템 |
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| 측정 유형 | ||||||
| 박막 계측학 | ||||||
| 기술 유형 | ||||||
| Wavelength Dispersive X-ray Fluorescence (WDXRF) | ||||||
| X-ray Diffraction (XRD) | ||||||
| Energy Dispersive X-ray Fluorescence (EDXRF) | ||||||
