4kW SST-mAX X선관은 혁신적인 ZETA 기술을 기반으로 X선관의 노화를 방지합니다. '새로운 튜브'의 성능은 전체 수명 기간에 걸쳐 유지되며 감도가 높고, ZETA 기술에 힘입어 튜브의 전체 수명 기간 동안 신속한 분석 및 짧은 측정 시간이 보장됩니다. ZETA 기술은 유실 검량과 재검량의 필요성을 크게 줄여 생산성과 기기 가동 시간을 늘려줍니다.
기존의 X선관은 텅스텐이 증발하면서 선관의 베릴륨 창 내부에 증착을 유발하는 문제가 있었습니다. 그러한 X선관을 사용하려면, 특히 경원소의 경우 강도 감소를 보상하기 위한 정기적인 유실 보정이 필요합니다.
2830 ZT에는 SST-mAX Tube가 구현되어 유실 문제가 해결되었으며, 이를 통해 가동 시간을 최대한으로 늘리고 장기간에 걸쳐 기기의 정밀도를 유지합니다.
2830 ZT는 다층 분석을 위해 특별히 설계된 FP Multi 소프트웨어 패키지를 비롯하여 고급 SuperQ 소프트웨어와 함께 제공됩니다. 소프트웨어의 사용자 인터페이스를 통해 비숙련 작업자도 완전히 자동화된 다층의 기본 매개변수 분석을 수행할 수 있습니다.
기기의 SuperQ 소프트웨어에 포함된 사용하기 쉬운 다양한 모듈은 연구자와 엔지니어가 유연하게 작동할 수 있도록 설계했습니다. 또한 방식 전환과 사용자 선호도에 맞춘 기기 변수의 조절도 용이합니다.
FALMO-2G는 단순한 수동 운반체 로딩에서 완전 자동화 설비에 이르기까지 어떤 연구소 또는 제조 공장에도 쉽게 설치할 수 있습니다. 유연성이 뛰어난 설계로 제조 공장 관리자가 FOUP, SMIF 또는 개방형 카세트 장착 포트 중에서 선택하여 싱글 또는 듀얼 장착 포트를 구성할 수 있습니다. 다양한 구성의 FALMO-2G는 모두 GEM300 호환 소프트웨어로 지원합니다. 유연성, 안정성을 손상하지 않고 FALMO-2G의 설치 공간을 최소화했습니다.
SuperQ 소프트웨어에 포함된 다양한 모듈은 사용이 간편하며 연구자와 엔지니어가 융통성 있게 활용할 수 있도록 설계되어 있습니다. 또한 방식 전환과 사용자 선호도에 맞춘 기기 변수의 조절도 용이합니다.
| 샘플 크기 | 100~300mm 어댑터 직접 로딩: 특수 어댑터로 더 작은 크기를 처리할 수 있음 |
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| 샘플 유형 | FOUP, SMIF, 개방형 카세트 및 수동 로딩 옵션 제공 |
| 처리량 | 시간당 최대 25개 웨이퍼 처리 |
| 시스템 호환성 |
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| 측정 크기 범위 | 측정 지점 크기 40mm 및 10mm: 기타 지점 크기 가능 | |
| 기술 유형 | Zeta 테크놀로지 |
| 채널(Channels) | 고정 채널 최대 24개
최대 측각기 2개 최고의 감도와 처리량을 제공하는 초고성능 붕소 채널 B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix에 높은 감도와 높은 처리량을 제공하는 특수 고성능 채널 불연 아르곤/메탄 플로 계수기
밀폐형 계수기
스캐너 10º-100º 2θ
300μm 베릴륨 창의 섬광
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| 규제 시험 | SEMI S2/S8 준수
SECS/GEM 완벽 준수
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2830 ZT에서 사용 가능한 액세서리는 아래에 나열되어 있습니다.
우리는 또한 원소 분석, 구조 분석, 형태 분석부터 검증 및 적격성 평가 서비스까지 다양한 분석 서비스를 제공합니다. XRF 테스트 서비스에 대해 자세히 알아보십시오.
DifferAction is an optional extension for our Wafer Analyzer 2830 ZT spectrometer platform with SuperQ software, which enables automatic wafer angle optimization for more accurate XRF analysis.
As an additional package for our Wafer Analyzer 2830 ZT platform with SuperQ software, ToolMatch makes consistent results across your equipment simple.
By calculating the regression of systematic differences in semiconductor analysis, this software enables automatic results tuning, based on the ToolMatch correction between Wafer Analyzers. It is the ideal solution for ensuring consistent results both within and across sites.
버전 번호: 4
버전 번호: 4
버전 번호: 2
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장비가 최상의 상태로 유지되고 최고 수준으로 작동하게 하도록 Malvern Panalytical은 다양한 서비스를 제공하고 있습니다. 전문적인 기술과 지원 서비스를 통해 장비가 최적의 기능을 할 수 있도록 보장합니다.
평생 서비스
공정에 가치 추가
사용자 친화적인 장비에 패키지로 포함된 지속적인 기능과 사용하기 쉬운 소프트웨어 모듈을 통해 웨이퍼 분석을 향상시키십시오.
