エピタキシー分析

回折パターンからは、次のような多くの重要な情報が得られます： 

• エピタキシャル層の合金組成
• エピタキシャル層の均一性
• エピタキシャル層の厚さ
• ひずみおよびひずみ緩和 
• 転位密度に関連する結晶完全度

界面の相互拡散や混合の形成でさえ、特定の状況下で調査できます。

迅速な検査のために、基板や層のピーク位置を分析に使用できます。 

ただし、一般に動的散乱理論に基づくフルパターンシミュレーションは、関連するパラメータの定量化に用いられます。