Rango de orientación de cristal

Orientación rápida y precisa de las obleas, los monocristales y cualquier otra muestra cristalina individual

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Un cristal es una repetición constante de átomos que significa que lo que vemos desde el punto de vista de un electrón/fotón que ingresa a este cristal dependerá del ángulo en el cual lo estamos viendo. La vista puede ser un canal que apunte completamente a través del cristal o solo a las tres capas superiores del material, por lo tanto, las propiedades del material pueden ser bastante diferentes según el ángulo. Un buen control de las propiedades del material requiere un buen control de la orientación del cristal.

Es un proceso importante en la implantación de iones, la litografía y la epitaxia, pero también, por ejemplo, cuando se hacen componentes láser u ópticos.

El rango de orientación del cristal se basa en el escaneo azimutal, una técnica de medición geométrica inteligente para orientar el cristal. Esto significa que no solo podemos encontrar la inclinación del eje principal, sino también todas las direcciones sencillas en tan solo 10 segundos. Los instrumentos pueden medir prácticamente cualquier forma, siempre que se trate de un solo cristal, como, por ejemplo, las obleas, los lingotes, los monocristales, los discos, etc.

Bien diseñado para aplicaciones industriales como fabricantes de monocristales u obleas, y de investigación, pero también para el control de calidad de las obleas y otros dispositivos. 

Nuestros sistemas de orientación de cristal de alta precisión ofrecen mediciones de orientación de cristal simples y rápidas, lo que garantiza que las propiedades deseadas estén disponibles para los próximos pasos de procesamiento.

DDCOM

Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package

Las características incluyen

  • Benchtop device
  • Higher throughput due to no height alignment
DDCOM

SDCOM

Ultra-fast, flexible, top surface measuring crystal orientation in a compact package

Las características incluyen

  • Benchtop device
  • Outstanding accuracy, fit for samples from 2 mm² up to 300 mm Ø wafers
SDCOM

Omega/Theta XRD

Fully automated vertical three-axis X-ray diffractometer for ultra-fast crystal orientation

Las características incluyen

  • As fast as 10 seconds per full crystal measurement
  • Higher throughput and outstanding accuracy compared to conventional systems
  • Flexible with accessories for marking, mapping, alignments for transfers of all single crystalline materials
Omega/Theta XRD

Wafer XRD 200

Fast, precise and fully equipped solution for wafer orientation and sorting

Las características incluyen

  • High capacity wafer metrology; full cassette of 25 wafers measured in less than 10 minutes
  • Optimal for Wafer Production: measure crystal orientation, recognize wafer ID, flat/notch and shape of wafer edge
Wafer XRD 200

Wafer XRD 300

Integratable wafer orientation solution

Las características incluyen

  • High throughput wafer metrology system
  • Supports 300mm Si wafers
  • Optimal for Wafer Production: measure crystal orientation, recognize wafer ID, flat/notch and shape of wafer edge
Wafer XRD 300

XRD-OEM

Fully automated in-line orientation and handling of ingots, boules, and pucks

Las características incluyen

  • Measurement head for crystal orientation
  • Built for integration into e.g. cutting and grinding machines
XRD-OEM
DDCOM

DDCOM

Orientación ultrarrápida en la superficie inferior para la medición del cristal en un paquete compacto

SDCOM

SDCOM

Orientación ultrarrápida en la superficie superior para la medición del cristal en un paquete compacto

Omega/Theta XRD

Omega/Theta XRD

Difractómetro de rayos X vertical totalmente automatizado de tres ejes para una orientación de cristal ultrarrápida

Wafer XRD 200

Wafer XRD 200

Solución rápida, precisa y completamente equipada para una orientación y clasificación más rápidas

Wafer XRD 300

Wafer XRD 300

Su solución integrable de orientación de obleas

XRD-OEM

XRD-OEM

Orientación en línea y manipulación de lingotes, monocristales y discos totalmente automatizados

Tecnología
X-ray Diffraction (XRD)
Orientación del cristal
Tipo de sistema
Tipo de sistema Sobremesa Sobremesa Base de pie Base de pie Base de pie Cabezal de medición
Plataformas
Plataforma de mapeo N/D
Plataforma de molienda N/D
Plataforma de apilamiento N/D
Configuración del tubo
Alimentación del tubo De 30 kV/1 mA De 30 kV/1 mA De 30 kV/10 mA De 30 kV/1 mA De 30 kV/1 mA De 30 kV/1 mA
Sistema de refrigeración Refrigeración por aire Refrigeración por aire Refrigeración por agua Refrigeración por aire Refrigeración por aire Refrigeración por aire
Características
Marcado * Básica N/D
Reconocimiento óptico de geometría Opcional para monocristales Opcional para monocristales Próximamente
Curvas de balanceo (calidad de cristal de la muestra) N/D
Escaneos Theta (solo para orientación con óptica básica) N/D
Especificaciones
Velocidad de rendimiento Más de 10 segundos Alineación de altura + 10 segundos Alineación de altura + 10 segundos 10 minutos para 25 obleas -- Según la máquina