DDCOM
Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package
Las características incluyen
- Benchtop device
- Higher throughput due to no height alignment
Un cristal es una repetición constante de átomos que significa que lo que vemos desde el punto de vista de un electrón/fotón que ingresa a este cristal dependerá del ángulo en el cual lo estamos viendo. La vista puede ser un canal que apunte completamente a través del cristal o solo a las tres capas superiores del material, por lo tanto, las propiedades del material pueden ser bastante diferentes según el ángulo. Un buen control de las propiedades del material requiere un buen control de la orientación del cristal.
Es un proceso importante en la implantación de iones, la litografía y la epitaxia, pero también, por ejemplo, cuando se hacen componentes láser u ópticos.
El rango de orientación del cristal se basa en el escaneo azimutal, una técnica de medición geométrica inteligente para orientar el cristal. Esto significa que no solo podemos encontrar la inclinación del eje principal, sino también todas las direcciones sencillas en tan solo 10 segundos. Los instrumentos pueden medir prácticamente cualquier forma, siempre que se trate de un solo cristal, como, por ejemplo, las obleas, los lingotes, los monocristales, los discos, etc.
Bien diseñado para aplicaciones industriales como fabricantes de monocristales u obleas, y de investigación, pero también para el control de calidad de las obleas y otros dispositivos.
Nuestros sistemas de orientación de cristal de alta precisión ofrecen mediciones de orientación de cristal simples y rápidas, lo que garantiza que las propiedades deseadas estén disponibles para los próximos pasos de procesamiento.
Ultra-fast, bottom surface measuring crystal orientation in a compact package
Las características incluyen
Ultra-fast, flexible, top surface measuring crystal orientation in a compact package
Las características incluyen
Fully automated vertical three-axis X-ray diffractometer for ultra-fast crystal orientation
Las características incluyen
Fast, precise and fully equipped solution for wafer orientation and sorting
Las características incluyen
Integratable wafer orientation solution
Las características incluyen
Fully automated in-line orientation and handling of ingots, boules, and pucks
Las características incluyen
DDCOMOrientación ultrarrápida en la superficie inferior para la medición del cristal en un paquete compacto |
SDCOMOrientación ultrarrápida en la superficie superior para la medición del cristal en un paquete compacto |
Omega/Theta XRDDifractómetro de rayos X vertical totalmente automatizado de tres ejes para una orientación de cristal ultrarrápida |
Wafer XRD 200Solución rápida, precisa y completamente equipada para una orientación y clasificación más rápidas |
Wafer XRD 300Su solución integrable de orientación de obleas |
XRD-OEMOrientación en línea y manipulación de lingotes, monocristales y discos totalmente automatizados |
|
---|---|---|---|---|---|---|
Tecnología | ||||||
X-ray Diffraction (XRD) | ||||||
Orientación del cristal | ||||||
Tipo de sistema | ||||||
Tipo de sistema | Sobremesa | Sobremesa | Base de pie | Base de pie | Base de pie | Cabezal de medición |
Plataformas | ||||||
Plataforma de mapeo | N/D | |||||
Plataforma de molienda | N/D | |||||
Plataforma de apilamiento | N/D | |||||
Configuración del tubo | ||||||
Alimentación del tubo | De 30 kV/1 mA | De 30 kV/1 mA | De 30 kV/10 mA | De 30 kV/1 mA | De 30 kV/1 mA | De 30 kV/1 mA |
Sistema de refrigeración | Refrigeración por aire | Refrigeración por aire | Refrigeración por agua | Refrigeración por aire | Refrigeración por aire | Refrigeración por aire |
Características | ||||||
Marcado | * Básica | N/D | ||||
Reconocimiento óptico de geometría | Opcional para monocristales | Opcional para monocristales | Próximamente | |||
Curvas de balanceo (calidad de cristal de la muestra) | N/D | |||||
Escaneos Theta (solo para orientación con óptica básica) | N/D | |||||
Especificaciones | ||||||
Velocidad de rendimiento | Más de 10 segundos | Alineación de altura + 10 segundos | Alineación de altura + 10 segundos | 10 minutos para 25 obleas | -- | Según la máquina |