Plataformas de muestreo adicionales
Mida un rango más amplio de tamaños de muestra en diferentes plataformas del proceso con plataformas de muestra adicionales diseñadas para acomodar cristales más pequeños o mayores que el promedio.
Información general
El Omega/Theta es su socio confiable a prueba de futuro para determinar la orientación de cristales en el panorama de semiconductores en rápida evolución. La precisión líder del mercado, la velocidad de medición ultrarrápida y la calidad de fabricación de alta gama se combinan con el poder de la automatización, ofreciendo una eficiencia y precisión sin precedentes para la orientación y alineación de cristales en aplicaciones industriales y de investigación.
Características y beneficios
Ultrarrápido y preciso: Método de exploración azimutal
El método de escaneado azimutal solo requiere una rotación de medición para recopilar todos los datos necesarios para determinar completamente la orientación, y proporciona los resultados dentro de 10 segundos sin comprometer la precisión.
La muestra se gira 360o, con la fuente de rayos X y el detector posicionados para lograr un determinado número de reflejos por giro. Estas reflexiones permiten medir la orientación de la red cristalina en relación con el eje de rotación con una alta precisión de hasta 0,003o.
Fácil de usar
Todas las mediciones en el Omega/Theta están automatizadas y se gestionan desde el software XRD de fácil uso, que ofrece mediciones fáciles basadas en recetas ya preparadas para el flujo de trabajo rutinario.
El instrumento se puede integrar fácilmente en los procesos existentes en entornos de producción mediante sus diversos MES, SECS/GEM e interfaces similares.
Caracterizar una variedad de materiales
El Omega/Theta se puede utilizar para caracterizar cualquier material monocristalino. Los comúnmente utilizados incluyen lo siguiente:
- Cúbico, orientación desconocida arbitraria: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cúbico, orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal y trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrómbicos: Mg2SiO4, NdGaO3
- Cualquier otro material cristalino individual
Manipulación de muestras conveniente y flexible
Nuestra amplia gama de accesorios mejora la productividad del Omega/Theta en una gran variedad de aplicaciones, desde el fresado de bolas a la molienda de lingotes, pasando por el corte en láminas y el control de extremos de obleas, manteniendo la flexibilidad incluso si las necesidades cambian con el tiempo.
Con portamuestras especializados para satisfacer cualquier necesidad, desde lingotes grandes hasta placas diminutas, Omega/Theta puede acomodar una amplia gama de tamaños de muestra, lo que aporta valor agregado tanto a la producción como a la investigación.
- Plataforma de mapeo X-Y automática para mapear la orientación del cristal o las distorsiones de la superficie en una cuadrícula definida por el usuario
- Plataforma de apilamiento para alinear los lingotes antes del aserrado
- Eje de rotación de muestra adicional
- Equipo de ajuste de la muestra
- Hay muchas más soluciones de ingeniería personalizadas.
Con portamuestras personalizados para satisfacer cualquier necesidad, desde grandes lingotes hasta diminutos cilindros, el Omega/Theta puede acomodar una amplia gama de tamaños de muestra, lo que garantiza que se adapte tanto al flujo de trabajo de producción como al de investigación.
Aplicaciones clave
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- Producción
- El Omega/Theta se diseñó para los fabricantes. Es ideal para la orientación y el alineamiento ultrarrápidas de varios tipos de cristal en la producción, para marcar las direcciones en el plano o verificar la orientación de las caras o las muescas. También es ideal para el control de calidad de la producción, gracias a sus altas velocidades de rendimiento y capacidades de automatización.
- Los extras opcionales, como la plataforma de apilamiento para alinear lingotes antes del aserrado y una herramienta de rocking curve para mediciones de calidad, hacen que el Omega/Theta sea un socio versátil para aplicaciones de producción.
- Investigación de materiales
- La alta precisión y flexibilidad del Omega/Theta significa que es ideal para la investigación de materiales, ya que puede albergar un rango de muestras de hasta 30 kg y 450 mm de longitud, con plataformas adicionales disponibles para muestras más grandes o complejas.
- Es capaz de caracterizar una amplia gama de materiales, lo que lo hace muy valioso para sus procesos de I+D, y la exploración Theta flexible abre un mundo de posibilidades de medición.
Especificación
| Especificaciones técnicas | |
|---|---|
| Fuente de rayos X | Tubo de rayos X refrigerado por Estándar, ánodo de Cu |
| Detector | Contador de centelleo (simple o doble) |
| Soporte de muestras | Plataforma giratoria precisa, placa de montaje y herramientas para el ajuste de muestras |
| Colimador de cristal | Disponible |
| Mapeo | Plataforma de mapeo de servicio pesado disponible |
| Software | XRDStudio |
| Enfriamiento por agua | Flujo: 4 l/m, presión máx. 8 bar, T ≤30 °C. |
| Estación de trabajo para computadora | Windows 7 o la última actualización de .NET Framework |
| Dimensiones | Alto 1950 mm x Profundidad 820 mm x Ancho 1200 mm |
| Peso | ca, 650 kg |
| Requisito de alimentación eléctrica | De 208 a 240 V, 16 A monofásica, de 50 a 60 Hz |
| Certificación | Fabricado de acuerdo con las directrices ISO 9001, conforme a CE |
Accesorios
Equipo de ajuste de la muestra
Maneje con facilidad sus diversos tipos de muestras con herramientas dedicadas de ajuste de muestras.
Plataforma de mapeo X-Y automático
Asigne fácilmente la orientación del cristal o las distorsiones de la superficie en una rejilla definida por el usuario, mediante una plataforma de posicionamiento adicional de X-Y sobre la plataforma giratoria. La plataforma de mapeo permite la exploración completa de toda la superficie de la muestra a través de un escaneo de superficie personalizable.
Plataforma de apilamiento
Alinee con precisión los lingotes antes del aserrado y mejore la utilización de la herramienta. La plataforma de apilamiento eficiente alinea los lingotes durante la exploración azimutal, antes de transferir la pila completa a la sierra alámbrica. Este método de aserrado paralelo es altamente eficiente.
Capacidad de curva oscilante
Mediciones de control de calidad rápidas y exactas para los procesos de producción. La rocking curve, indicativa de la calidad de la red, puede evaluarse rápidamente en sentido puntual o junto con una herramienta de mapeo para un mapa de calidad. La óptica está automatizada para facilitar el encendido/apagado.
Escáner láser para la determinación de la forma de las bolas
Un lector láser opcional permite la medición de la forma precisa de la muestra, lo que le proporciona una perspectiva más profunda de sus materiales.
Soporte
Servicios de apoyo
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones listas para usar en la metrología de semiconductores elemental y estructural
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
