Soportes para muestras
Existen diversos soportes de muestra disponibles para el SDCOM, lo que le permite procesar muestras más pequeñas, más grandes o irregulares con más facilidad.
Información general
La medición rápida y precisa de la orientación del cristal nunca ha sido tan accesible: conozca el SDCOM, su XRD compacto fácil de usar. El método de escaneo azimutal libera una medición ultrarrápida, con resultados en menos de diez segundos.
El SDCOM es la solución ideal para muchas aplicaciones dentro del procesamiento y la investigación de obleas, en las que entrega el nivel de precisión más alto de hasta 0,01o.
Características y beneficios
Rápido y preciso: método de escaneo azimutal
El método de escaneo azimutal requiere solamente una rotación de medición para reunir todos los datos necesarios a fin de determinar por completo la orientación, lo que proporciona resultados en un plazo de 10 segundos sin comprometer la precisión.
La muestra se gira 360o, con la fuente de rayos X y el detector posicionados para lograr un determinado número de reflejos por giro. Estos reflejos permiten la orientación de la red de cristales que se va a medir en relación con el eje de rotación con una alta precisión de hasta 0,01o.
Compacto y versátil
Gracias a su forma ligera y compacta, el SDCOM es fácilmente integrable en la investigación o los procesos industriales. El software XRD Suite es potente e intuitivo, por lo que es conveniente y fácil de operar para una variedad de usuarios.
La flexibilidad es clave para el SDCOM, que es especialmente clara en la gama de materiales que puede medir. El SDCOM puede medir cristales desde 2 hasta 300 mm de diámetro
Para una mayor flexibilidad, el SDCOM también es compatible con Theta-Scan. Con esto puede cubrir una gama aún mayor de materiales y cortes.
También existen diversos soportes de muestra y accesorios de transferencia que pueden ampliar aún más las posibilidades de las aplicaciones de su SDCOM, lo que garantiza la compatibilidad con su flujo de trabajo. Las etapas manuales y motorizadas de mapeo de obleas también están disponibles.
Algunos ejemplos de materiales medibles incluyen los siguientes (método de escaneo azimutal):
- Cúbico, orientación desconocida arbitraria: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Cúbico, orientación especial: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal y trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (cuarzo), Al2O3 (zafiro), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Ortorrómbico: Mg2SiO4, NdGaO3
- Cualquier otro material cristalino individual
Rentable
El tubo de rayos X del SDCOM se refrigera por aire, lo que elimina la necesidad de un enfriador o un circuito de agua de refrigeración. Gracias a la eficiencia y el pequeño tamaño del SDCOM, su consumo de energía se mantiene al mínimo, al igual que sus costos de funcionamiento.
Aplicaciones clave
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- Marcado y medición de direcciones en plano
- El SDCOM ofrece mediciones de orientación del cristal ultrarrápidas y muy precisas, ideales para una amplia gama de aplicaciones en la producción y el procesamiento de obleas, incluido el marcado y la medición de direcciones en plano. Dado que es ligero y portátil, se puede implementar dondequiera que lo necesite en su proceso.
- Capaz de medir cristales pequeños de hasta 1 mm con alta precisión y una amplia gama de materiales, el SDCOM está bien situado para soportar las necesidades complejas y cambiantes de la industria de los semiconductores.
- Control de calidad de producción
- El control de procesos rutinario exige velocidad, precisión y repetibilidad, y el SDCOM cuenta con ello. Su velocidad de medición ultrarrápida le dará un impulso a su productividad sin tener un gran impacto en sus costos de funcionamiento, gracias a su formato de escritorio y tubo de rayos X enfriado por aire.
- Investigación de materiales
- Capaz de medir una gama versátil de tipos de cristales dentro de un laboratorio con poco espacio, el SDCOM es ideal para flujos de trabajo de investigación estándar. Los costos de funcionamiento se mantienen bajos gracias al consumo de energía minimizado y a un tubo de rayos X enfriado por aire sin necesidad de refrigeración por agua.
- El SDCOM también es accesible y fácil de operar con manipulación manual, lo que lo convierte en una solución práctica para laboratorios de investigación con muchos usuarios diferentes.
Especificación
| Fuente de rayos X | Tubo de rayos X refrigerado por aire de 30 W, ánodo de Cu |
| Detectores | Tecnología de contador de centelleo |
| Soporte de muestras | Plataforma giratoria precisa, ajuste de precisión 0,01 °, soportes de muestra personalizados y accesorios de transferencia |
| Diámetro de la muestra | Desde 2 mm ø hasta 200 mm |
| Temperatura ambiente | ≤30 °C |
| Requisitos de PC | Windows 10 o más reciente. Actualización de NET Framework, 2 puertos Ethernet |
| Requisitos de alimentación eléctrica | De 100 a 230 V, monofásico, 500 W |
| Dimensiones | 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (A) |
| Peso | ca, 100 kg |
| Certificación | Fabricado de acuerdo con las directrices ISO 9001, conforme a CE |
| Todos los parámetros técnicos están sujetos a cambios basados en I+D | |
Accesorios
Accesorios de transferencia
Integre completamente el SDCOM en su proceso mediante la adición de accesorios de transferencia dedicados, que incluye opciones para sierra de hilo, molienda y más.
Soporte
Servicios de apoyo
- Asistencia telefónica y remota
- Mantenimiento preventivo y revisiones
- Acuerdos flexibles de atención al cliente
- Certificados de rendimiento
- Actualizaciones de hardware y software
- Asistencia local y global
Experiencia
- Soluciones listas para usar en la metrología de semiconductores elemental y estructural
- Automatización y consultoría
- Capacitación y educación
