X'Pert³ MRD XL Automation

복잡한 레이어 스택 계측을 위한 완전 자동화 솔루션

X'Pert3 MRD XL 도구의 추가 소프트웨어 솔루션인 Automation은 기존 기기에 통합되어 SECS/GEM에 적합한 호스트 제어 기능을 제공합니다.

이제 이러한 새로운 기능을 통해 MRD XL 시스템은 호스트로 제어되는 Fab 환경에서 모듈성과 유연성을 발휘할 수 있습니다. 이를 통해 오염이 없는 연구 또는 생산 환경을 보장할 수 있습니다. 

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개요

MRD XL Automation은 SECS/GEM 기능을 최첨단 웨이퍼 분석기에 도입하여 그 어느 때보다 빠르고 깨끗하며 효율적인 반도체 공정을 실현합니다. 이 소프트웨어는 널리 사용되는 SECS/GEM 프로토콜을 사용하는 기기와 호스트 컴퓨터 간의 정기적인 양방향 통신을 통해 웨이퍼 선택에서 계측, 결과 배포에 이르는 전체 웨이퍼 분석 프로세스를 자동화합니다.

완전히 자동화된 프로세스는 더 빠르고 효율적인 분석을 지원할 뿐만 아니라 사람의 수동 개입이 필요 없음을 의미합니다. 웨이퍼 분석에서는 인간이 주요 오염원이므로, 보다 깨끗한 연구 또는 생산 환경을 보장한다는 것이 이 기능의 큰 장점입니다.

기능 및 장점

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고급 자동화 기능

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완전한 맞춤형 옵션

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미래 지향적 기능

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모듈식 접근 방식

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긴 서비스 수명

  • 고급 자동화 기능
    MRD XL Automation 소프트웨어는 웨이퍼 분석 프로세스를 완전히 자동화하여 사람의 개입이 필요 없습니다.

  • 완전한 맞춤형 옵션
    MRD XL Automation 소프트웨어는 완벽하게 맞춤 구성할 수 있는 프레임워크를 갖추고 있어 개별 요구에 맞게 구성을 조정할 수 있습니다.

  • 미래 지향적 기능
    자동화는 반도체 혁신의 최첨단에 있기 때문에 MRD XL Automation은 업계의 빠른 성장을 따라갈 수 있게 돕습니다.

  • 모듈식 접근 방식
    X'Pert 3 MRD XL은 모듈식 시스템입니다. 여러 도구와 기능을 사용할 수 있으므로 회사의 요구 사항을 충족하도록 간편하게 구성할 수 있습니다. 이 올인원 접근 방식을 사용하면 새 기기에 많은 투자를 할 필요가 없습니다.

  • 긴 서비스 수명
    이 도구는 MRD XL 기기에 대한 최고 품질의 서비스 및 지원에 힘입어 고객의 비즈니스와 함께 성장할 것입니다.

서비스

기기가 항상 최상의 상태로 유지되고 최고 수준으로 작동할 수 있도록 당사는 다양한 서비스를 제공하고 있습니다. 당사는 서비스 엔지니어와 글로벌 고객 지원 네트워크를 비롯한 각종 도움과 조언 및 기술 지원을 상시 제공합니다. 그러니 주저하지 말고 문의해 주시기를 바랍니다.

  • 부품 교체 및 현장에서 배치
  • 글로벌 고객 지원 네트워크