X'Pert³ MRD
X'Pert³ MRD 시스템은 연구부터 공정 개발 및 공정 제어에 이르기까지 혁신적인 첨단 X선 회절 솔루션을 제공합니다.
특징은 다음과 같습니다
- 웨이퍼 최대 직경: 100mm
- SECS/보석
- 클린룸 ISO 4
개선된 X’Pert 플랫폼
X'Pert의 성공이 Malvern Panalytical X선 회절 시스템의 X'Pert³ 시리즈에서 계속됩니다. 새로운 온보드 제어 전자 장치가 있고, 가상 엄격한 최신 X선 및 운동 안전성 표준을 준수하고, 환경친화성과 신뢰성에서 앞서가는 X'Pert³는 미래를 내다보는 플랫폼입니다.
• CRISP를 통한 입사 빔 구성 요소의 최장 수명
• 공압식 셔터 및 빔 감쇠기를 통한 최대 가동 시간
• 2세대 PreFIX 기술을 바탕으로 새로운 응용 분야로 쉽게 확장
• 공구 없이 튜브 집중 위치를 빠르고 안정적으로 교체
• 인터넷에 직접 연결하는 새로운 온보드 전자 장치
• 가장 엄격한 안전 규정 준수
X'Pert³ MRD 시스템은 연구부터 공정 개발 및 공정 제어에 이르기까지 혁신적인 첨단 X선 회절 솔루션을 제공합니다.
특징은 다음과 같습니다
추가 PreFIX 장착 플랫폼을 사용하면 X선 거울과 고해상도 단색 장치를 인라인으로 장착할 수 있어 입사 빔의 강도가 크게 증가합니다.
특징은 다음과 같습니다
X'Pert³ MRD다목적 연구 및 개발 XRD 시스템 |
X'Pert³ MRD XL다목적 연구, 개발 및 품질 관리 XRD 시스템 |
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|---|---|---|
| 기술 유형 | ||
| X-ray Diffraction (XRD) | ||
| 측정 유형 | ||
| 상 식별 | ||
| 상 정량화 | ||
| 박막 계측학 | ||
| 잔류 응력 | ||
| 계면 거칠기 | ||
| 에피택시 분석 | ||
| 텍스처 분석 | ||
| 역격자 공간 분석 | ||
| Wafer max. diameter | 100 mm | 300 mm |
| SECS/GEM | ||
| Cleanroom ISO 4 | ||