X線結晶方位測定装置 Wafer XRD 300

ファクトリーオートメーションの機能と当社の次世代X線回折技術が融合します。Wafer XRD 300は、結晶方位とウェーハ形状及び寸法制御用の超高速、高精度の計測モジュールです。