X’Pert³ MRD XLクリーンルームパッケージ

測定環境が増えても、追加投資は最小限に抑えられます

X'Pert3 MRD XLクリーンルームパッケージは、ファンフィルターユニットなど、既存の機器に後付けしたり、新しい機器に追加したりできる、MRD XL用のスマートソリューションで構成されています。

MRD XLクリーンルームパッケージは、半導体ウェーハサンプルの周囲の空気をフィルタリングして、分析時の汚染を防止します。これにより、新しい機器に投資することなく、幅広い環境で測定することができます。

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概要

クリーンルームパッケージのプレフィルターとHEPAフィルターは、99.995%以上の分離効率で、空気吸入口から入る浮遊粒子を除去します。こうして、フィルターユニットはMRD XL内のサンプルの内外で浄化された空気のクリーンフローを確保します。

クリーンルームはISOクラス4に準拠しているため、クリーンフームパッケージを使用すると、測定できる環境の範囲を拡大でき、ラボからファブへの移行や、それに伴うより複雑な分析方法に対応できます。

メリットと機能

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クリーンルーム(ISOクラス4)など、複数の環境に適していますほとんどの安全認証は維持される、レトロフィットソリューションニーズにお応えできる柔軟性に優れたオールインワンパッケージ設備投資の削減 – 新しい機器は必要ありません耐久性が高く、耐用年数も延長されます

  • クリーンルームはISOクラス4に準拠
    クリーンルームパッケージは、ラボ、医療施設、微小環境、クリーンルームなど、さまざまな環境に適しています。

  • 現場での改造が可能
    クリーンルームパッケージは、現場で簡単にX’Pert3 MRD XLに後付けできます。アップグレードをインストールする前に、当社のサービスエンジニアが、測定チャンバーの内部を完全に清掃します。または、クリーンルームパッケージ付きの、新しいX’Pert3 MRD XLを購入した場合は、クリーンルームに組み込まれ、二重に梱包されます。

  • 安全認証はほとんどそのまま
    クリーンルームパッケージは、高性能磁石を使用してX’Pert3 MRD XLに後付けされており、機器キャビネットを物理的に変更する必要はありません。この方法には、システムの高出力X線リソースが含まれているため、既存の安全性認定は、ほとんど維持されます。

  • モジュラアプローチ
    X’Pert3 MRD XLはモジュラシステムです。複数のツールと機能を利用できるため、企業のニーズに合わせて拡張できるよう、簡単に構成されています。このオールインワンアプローチを使えば、新しい機器に投資する必要はありません。

  • 長い耐用年数を実現
    クリーンルームパッケージの優れた耐久性により、交換が必要になることはほとんどありません。

サービス

当社のソリューションは、サービスエンジニアからのものであれ、グローバルなカスタマーサポートネットワークからのものであれ、最高レベルのカスタマーサービス、サポート、アドバイスによって支えられています。お気軽にお問い合わせください。

  • 現場で後付け
  • 現場でのパーツの交換と調整
  • グローバルなカスタマーサポートネットワーク