X線計測

薄膜フィルム計測によるフィルム品質の向上

XRD 、XRR、XRFのようなX線方式に基づく薄膜フィルム計測ツールは、迅速で非破壊的な計測方法です。 これらのツールは、薄膜層、ヘテロ構造、および超格子システムの重要物質パラメータをナノメートルスケールに至るまで実施する現場外調査に力を発揮することが証明されています。 

その結果得られる情報は、層品質を最適化し、生産効率を上げ、コストを削減する上で非常に有用です。 

Malvern Panalyticalは、層構造機器、マイクロベース機器、光電子機器の開発と生産制御のための計測ソリューションを提供します。

2830 ZT

2830 ZT

先進の半導体薄膜測定ソリューション

X'Pert³ MRD

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多目的研究開発XRDシステム

X'Pert³ MRD XL

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薄膜単結晶解析X線回折装置

技術
波長分散型蛍光X線
測定タイプ
薄膜測定
化合的同定
元素分析
汚染物質の検出と分析
元素定量