XRD 、XRR、XRFのようなX線方式に基づく薄膜フィルム計測ツールは、迅速で非破壊的な計測方法です。 これらのツールは、薄膜層、ヘテロ構造、および超格子システムの重要物質パラメータをナノメートルスケールに至るまで実施する現場外調査に力を発揮することが証明されています。
その結果得られる情報は、層品質を最適化し、生産効率を上げ、コストを削減する上で非常に有用です。
Malvern Panalyticalは、層構造機器、マイクロベース機器、光電子機器の開発と生産制御のための計測ソリューションを提供します。