GISAXS検証用サンプル

この検証用サンプルは、斜入射小角散乱法(GISAXS)の設定が正しく動作するために使用できます。 このサンプルは、Siウェハーの表面に付着した既知の粒径分布の球形Fe2O3ナノ粒子で構成されています。 粒子にはポリスチレンシェルが含まれています。

粒子の仕様は、SEMおよびGISAXS分析で認定されています。