L'Omega/Theta offre le nec plus ultra en termes de précision et de vitesse combinées pour déterminer l'orientation du réseau cristallin. Il est doté de nombreux accessoires de processus, des lecteurs de codes-barres aux tableaux de cartographie, et d'un cadre empilable de cristal. L'Omega/Theta est votre partenaire fiable pour déterminer l'orientation des cristaux et les transférer à l'étape de traitement suivante.
Télécharger la brochureL'Omega/Theta est votre partenaire fiable et évolutif de détermination de l'orientation des cristaux dans le paysage en évolution rapide des semi-conducteurs. La précision de pointe, la vitesse de mesure ultra-rapide et la qualité de fabrication haut de gamme sont associées à la puissance de l'automatisation, offrant une efficacité et une précision inégalées pour l'orientation et l'alignement des cristaux dans les applications industrielles et de recherche.
La méthode d'acquisition azimutale ne nécessite qu'une seule rotation de mesure afin de recueillir toutes les données nécessaires à la détermination complète de l'orientation, ce qui permet d'obtenir les résultats en moins de 10 secondes sans compromettre la précision.
L'échantillon est tourné à 360°, la source de rayons X et le détecteur étant positionnés de manière à obtenir un certain nombre de réflexions par tour. Ces réflexions permettent de mesurer l'orientation du réseau cristallin par rapport à l'axe de rotation avec une grande précision allant jusqu'à 0,003o.
Toutes les mesures effectuées sur l'Omega/Theta sont automatisées et gérées à partir du logiciel XRD convivial, qui offre des mesures simples et prêtes à l'emploi basées sur des formules pour le flux de travail de routine.
L'instrument peut être facilement intégré dans des processus existants dans des environnements de production à l'aide de ses différentes interfaces MES, SECS/GEM et similaires.
L'Omega/Theta peut être utilisé pour caractériser n'importe quel matériau monocristallin. Les matériaux couramment utilisés incluent :
Nos nombreux accessoires améliorent la productivité de l'Omega/Theta dans une large gamme d'applications, du forage de semences au broyage de boules, en passant par le tranchage et le contrôle final des wafers, pour une flexibilité optimale même si ces besoins évoluent.
Avec des porte-échantillons spécialisés permettant de répondre à tous les besoins, des grands lingots aux petites plaques, l'Omega/Theta peut accueillir une large gamme de formats d'échantillons, constituant ainsi une valeur ajoutée pour la production et la recherche.
Avec des porte-échantillons personnalisés permettant de répondre à tous les besoins, des grands lingots aux petits cylindres, l'Omega/Theta peut accueillir une large gamme de formats d'échantillons, garantissant qu'il s'adapte parfaitement aussi bien dans un flux de production que dans la recherche.
| Spécification technique | |
|---|---|
| Source de rayons X | Tube à rayons X standard, anode en Cu |
| Détecteur | Compteur à scintillation (simple ou double) |
| Porte-échantillon | Plateau tournant précis, plaque de montage et outils pour le réglage des échantillons |
| Collimateur à cristaux | Disponible |
| Cartographie | Platine de cartographie extra-robuste disponible |
| Logiciels | XRDStudio |
| Refroidissement par eau | Débit – 4 L/min, pression max 8 bar, T ≤ 30 °C |
| Station de travail PC | Windows 7 ou version ultérieure, mise à jour de .NET Framework |
| Dimensions | 1 950 mm × 820 mm × 1 200 mm (H × P × l) |
| Poids | 650 kg environ |
| Alimentation nécessaire | 208-240 V, 16 A monophasé, 50-60 Hz |
| Certification | Fabriqué conformément aux directives ISO 9001, conformité CE |
Mesurez une plus large gamme de formats d'échantillons dans différentes étapes de processus avec des supports d'échantillons supplémentaires conçus pour accueillir des cristaux plus petits ou plus grands que la moyenne.
Manipulez facilement vos différents types d'échantillons grâce à des outils d'ajustement des échantillons dédiés.
Cartographiez facilement l'orientation des cristaux ou les distorsions de surface sur une grille définie par l'utilisateur à l'aide d'une platine de positionnement X-Y supplémentaire au-dessus du plateau tournant. La platine de cartographie permet une exploration complète de la surface entière de l'échantillon via une acquisition de surface personnalisable.
Alignez précisément les lingots avant de scier et améliorez l'utilisation de l'outil. La platine d'empilage efficace aligne les lingots pendant l'acquisition azimutale, avant de transférer la pile complète à la scie à fil. Ce procédé de sciage parallèle est très efficace.
Mesures de contrôle qualité rapides et précises pour les processus de production. Le rocking curve, indicateur de la qualité du réseau, peut être évalué rapidement de façon ponctuelle ou conjointement à un outil de cartographie pour une carte qualité. L'optique est automatisée pour faciliter l'activation/désactivation.
Un scanner laser en option permet de mesurer avec précision la forme des échantillons, ce qui vous permet de mieux comprendre vos matériaux.
Dans une industrie en pleine mutation, vous devez tirer profit des processus intelligents et efficaces – et ils commencent avec l'Omega/Theta. Orientation et alignement des cristaux entièrement automatisés à la vitesse la plus élevée.
