Omega/Theta

Übersicht

Das Omega/Theta ist ein zuverlässiges, zukunftssicheres Gerät für die Bestimmung der Kristallausrichtung in der sich schnell wandelnden Halbleiterindustrie. Marktführende Präzision, superschnelle Messgeschwindigkeit und hochwertige Verarbeitungsqualität werden mit der Leistungsfähigkeit der Automatisierung kombiniert und bieten eine beispiellose Effizienz und Präzision für die Bestimmung der Kristallausrichtung in Industrie- und Forschungsanwendungen

Leistungsmerkmale und Vorteile

Extrem schnell und präzise: Azimut-Scanmethode

Die Azimut-Scanmethode erfordert nur eine Messrotation, um alle erforderlichen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu erfassen. Sie liefert die Ergebnisse innerhalb von 10 Sekunden – ohne Kompromisse bei der Genauigkeit.

Die Probe wird um 360^o gedreht, wobei die Röntgenquelle und der Detektor so positioniert werden, dass sie eine bestimmte Anzahl von Reflexionen pro Umdrehung erreichen. Durch diese Reflexionen kann die Ausrichtung des Kristallgitters in Bezug auf die Rotationsachse mit hoher Präzision von 0,003^o gemessen werden.

Anwenderfreundlich

Alle Messungen auf dem Omega/Theta werden automatisiert und über die anwenderfreundliche XRD-Software verwaltet, die einfache, vorgegebene Messungen für Routineabläufe ermöglicht.

Das Gerät kann mithilfe verschiedener MES-, SECS/GEM- und ähnlicher Schnittstellen problemlos in bestehende Prozesse in Produktionsumgebungen integriert werden.

Charakterisierung einer Reihe von Materialien

Das Omega/Theta kann zur Charakterisierung jedes einkristallinen Materials verwendet werden. Zu den häufig verwendeten Materialien gehören:

Kubisch, mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
Kubisch, mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC₃C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl₂O₄, SrTiO₃, LaTiO₃
Tetragonal: MgF₂, TiO₂, SrLaAlO₄
Hexagonal und trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO₃, SiO₂ (Quarz), Al₂O₃ (Saphir), GaPO₄, La₃Ga₅SiO₁₄
Orthorhombisch: Mg₂SiO₄, NdGaO₃
Jedes andere einkristalline Material

Praktische, flexible Handhabung von Proben

Unser umfangreiches Zubehörsortiment steigert die Produktivität des Omega/Theta in einer Vielzahl von Anwendungen, vom Bohren über das Boule-Schleifen und Schneiden bis hin zur Endkontrolle der Wafer. So bleiben Sie flexibel, auch wenn sich diese Anforderungen im Laufe der Zeit ändern.

Mit speziellen Probenhaltern, die alle Anforderungen – von großen Barren bis hin zu winzigen Platten – erfüllen, kann das Omega/Theta eine Vielzahl von Probengrößen aufnehmen. Daher eignet es sich sowohl für Produktionsabläufe als auch für die Forschung.

Automatische X-Y-Mapping-Bühne für das Mapping der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen auf einem benutzerdefinierten Raster
Stapelbühne zum Ausrichten von Barren vor dem Sägevorgang
Zusätzliche Probenrotationsachse
Ausrüstung zur Probenausrichtung
Es gibt noch viele weitere kundenspezifische technische Lösungen.

Mit maßgeschneiderten Probenhaltern, die alle Anforderungen – von großen Barren bis hin zu winzigen Zylindern – erfüllen, kann das Omega/Theta eine Vielzahl von Probengrößen aufnehmen. Daher eignet es sich sowohl für Produktionsabläufe als auch für die Forschung.

Wichtigste Anwendungen

Produktion: Das Omega/Theta wurde für Hersteller entwickelt. Es eignet sich ideal für die ultraschnelle Ausrichtung und Justage verschiedener Kristalltypen in der Produktion, für das Markieren von In-Plane-Richtungen oder für die Überprüfung der Ausrichtung von Flats und Notches. Dank seines hohen Durchsatzes und seiner Automatisierungsfunktionen ist das System zudem ideal für die Qualitätskontrolle in der Produktion geeignet.; Optionale Extras wie eine Stapelbühne zum Ausrichten von Barren vor dem Sägevorgang und ein Rockingkurvengerät für Qualitätsmessungen machen das Omega/Theta zu einem vielseitigen Gerät für Produktionsanwendungen.

Materialforschung: Dank seiner hohen Präzision und Flexibilität eignet sich das Omega/Theta ideal für die Materialforschung, da es eine Reihe von Proben mit bis zu 30 kg Gewicht und 450 mm Länge aufnehmen kann, wobei zusätzliche Bühnen für größere oder komplexere Proben verfügbar sind.; Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu charakterisieren, weshalb es für Ihre F&E-Prozesse äußerst nützlich sein kann – und die flexible Theta-Scan-Methode eröffnet eine neue Welt von Messmöglichkeiten.

Spezifikation

Technische Spezifikationen
Röntgenquelle	Standard-Röntgenröhre, Cu-Anode
Detektor	Szintillationszähler (einfach oder doppelt)
Probenhalter	Präziser Drehtisch, Montageplatte und Werkzeuge zur Probenausrichtung
Kristallkollimator	Verfügbar
Mapping	Robuste Mapping-Bühne erhältlich
Software	XRDStudio
Wasserkühlung	Durchfluss 4 l/min, max. Druck 8 bar, T ≤ 30 °C
PC-Workstation	Windows 7 oder höher, .NET Framework-Update
Abmessungen	1950 × 820 × 1200 mm (H × T × B)
Gewicht	ca. 650 kg
Erforderliche Stromversorgung	208–240 V, 16 A einphasig, 50–60 Hz
Zertifizierung	Hergestellt nach ISO 9001-Richtlinien, CE-konform

Zubehör

Messen Sie einen größeren Bereich von Probengrößen in verschiedenen Prozessphasen mit zusätzlichen Probenhalterungen, die für Kristalle kleiner oder größer als der Durchschnitt ausgelegt sind.

Zusätzliche Probenhalterungen

Einfache Handhabung verschiedener Probenarten mit speziellen Werkzeugen zur Probenausrichtung.

Ausrüstung zur Probenausrichtung

Stellen Sie die Kristallausrichtung oder Oberflächenverzerrungen einfach auf einem benutzerdefinierten Raster mithilfe eines zusätzlichen X-Y-Positioniertisches über dem Drehtisch dar. Die Mapping-Bühne ermöglicht eine umfassende Untersuchung der gesamten Probenoberfläche über einen anpassbaren Oberflächenscan.

Automatische X-Y-Mapping-Bühne

Richten Sie Barren vor dem Sägen präzise aus, und verbessern Sie die Werkzeugauslastung. Die effiziente Stapelbühne richtet Barren während des Azimut-Scans aus, bevor der gesamte Stapel zur Drahtsäge transportiert wird. Diese parallele Sägemethode ist äußerst effizient.

Stapelbühne

Schnelle und genaue Qualitätskontrollmessungen für Produktionsprozesse. Die Rockingkurve, die die Gitterqualität darstellt, kann schnell punktweise oder in Verbindung mit einem Mapping-Werkzeug für eine Qualitätskarte beurteilt werden. Die Optik ist automatisiert und ermöglicht ein einfaches Ein- und Ausschalten.

Wippkurvenfunktion