Advanced Material Analysis and Simulation Software (AMASS)

Funktionen

Die wichtigsten Funktionen von AMASS

AMASS Basic verfügt über alle Funktionen außer der Simulation und der automatischen Anpassung.

• Neue intuitive grafische Benutzeroberfläche.
• Projektorientiertes Dokumentformat zum Speichern, Abrufen und Verwalten aller Informationen einer Arbeitssitzung, einschließlich offener Scans, simulierter Daten, aller Einstellparameter und verwendeter Materialparameter.
• Grafiken für einzelne Scans, Flächenkarten und Wafer-Maps.
• Möglichkeit der Zusammenführung von Datensätzen mit 1 oder 2 Achsen.
• Projektion und Extraktion aus 2-Achsen-Scans zur Generierung von 1-Achsen-Scans für weitere Analysen.
• Automatische Peak-Suche in 1-Achsen-Daten (z. B. Rockingkurven) und 2-Achsen-Daten (z. B. Reciprocal Space Maps).
• Automatische Peak-Beschriftung von Substraten, mehreren Schichten und Randbereichen.
• Automatische horizontale und vertikale Linienextraktion an beschrifteten Peakpositionen von 2-achsigen Daten.
  
• Es werden Materialien aller Space-Gruppe unterstützt.
• Beispielstrukturen umfassen Gradienten, Übergitter und verknüpfte Parameter.
• Die Software extrahiert Dehnung und Entspannung, Diskrepanz und Zusammensetzung, Ausrichtung und Biegung des Substrats, Schichtmosaik-Spread und laterale Korrelationslänge, Dicke und Übergitterzeit aus markierten Peakpositionen.
• Dickenbestimmung aus Daten der Spiegelreflektivität mittels Fourier- und Direkt-Methode.
• Durch die Analyse beliebiger Scan-Typen kann eine Wafer-Map erstellt werden. Dies umfasst die direkte Analyse von Peakparametern und Peakpositionen sowie die automatische Anpassung (sofern diese Option verfügbar ist).
• AMASS unterstützt Daten im XRDML-Format, im einfachen ASCII-Format (*.asc) sowie in den alten Philips-Formaten (*.dnn, *.xnn, *.ann und *ynn).
• Anpassbare Ergebnisberichte. Unterstützung von PDF-, RTF-, XML- und HTML-Berichten.
• Alle Analysen können über eine Befehlszeilenschnittstelle vollständig automatisiert werden. Gesteuert durch APP (Automatic Processing Program) ist die Automatisierung des gesamten Prozesses von der Messung bis zur Ergebnisberichterstattung möglich.
• COM-Schnittstelle (Component Object Model) zur Ausführung von AMASS-Funktionen aus Anwendungen wie Phyton^TM oder Matlab^®.
  
• Auswahl von zwei passenden Algorithmen: Ermöglicht es Benutzern, die Software an individuelle Anforderungen anzupassen. (Nur für die Optionen)
• Konfidenzanalyse für alle Parameter eines bestimmten Beispielmodells. Das Ergebnis dieser Analyse zeigt den Zuverlässigkeitsbereich des verfeinerten Parameters. (Nur für die Optionen).
• HR-Option:
  • Passt simulierte Rockingkurven an die Messdaten an
  • Die Schichten können im Hinblick auf die darunter liegende Ebene teilweise gelockert werden.
  • Die Flächenausrichtung nichtpolarer a- und m-Ebenen von Wurtzitstrukturen wird vollständig unterstützt.
• XRR-Option:
  • Passt simulierte Reflektivitätskurven an die gemessenen Daten an.
  • Materialien im Modell können solche mit Gitterparametern oder Dichtegradienten mit fünf Auswahlmöglichkeiten für den Gradiententyp umfassen.
  • Für die off-spukäre Analyse stehen drei Optionen für das Oberflächenrauheitsmodell zur Verfügung: Fraktal, Staircase und Kastellation.
  • Die Daten der off-spekulären (diffusen) Streuungsdaten (Omega-, 2theta- und Offset-Omega/2theta-Scans) können angezeigt und simuliert werden. Die Software simuliert koplanare Qx-, Qz- sowie nicht-koplanare Qx-, Qy-reziproke Space Maps.

Materialen Datenbank 

Die umfangreiche Materialdatenbank enthält alle erforderlichen Materialdaten zur Analyse von Rockingkurven, Wafer-Mapping, Simulation und Anpassung: Einzelzellparameter, Poissons-Verhältnisse und Einkristall-Steifigkeitskoeffizienten für einige ausgewählte Oxide und alle gängigen kubischen Halbleitermaterialien, plus hexagonales GaN, AlN und InN. Darüber hinaus enthält es die elementaren atomaren Zahlen und Massen sowie deren Masseabsorptions- und anomale Dispersionskoeffizienten für verschiedene feste Röntgenwellenlängen. Die Datenbank ist erweiterbar, indem neue Strukturen aller Space-Gruppe und Materialien sowie Werte für andere Wellenlängen hinzugefügt werden. Kristallstrukturinformationen und -materialien können aus kristallografischen Informationsdateien (CIF) importiert werden.

Anwenderdokumentation

Der Anwendungsleitfaden soll Ihnen helfen, AMASS schnell und effizient zu verwenden. Jedes der 12 Themen enthält Arbeitsbeispiele. Diese Beispiele wurden ausgewählt, um die wichtigsten Funktionen von AMASS zu demonstrieren. 

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Spezifikation

Aktuelle Version	2,0