X'Pert³ is now a Smart Instrument!. Find out more
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A longa e bem-sucedida história dos Difratômetros de Pesquisa de Materiais (MRD) da Malvern Panalytical continua com uma nova geração – X’Pert³ MRD e X’Pert³ MRD XL. O desempenho e a confiabilidade aprimorados da nova plataforma adicionaram mais capacidade analítica e potência para estudos de dispersão de raios X em:
• ciência de materiais avançados
• tecnologia científica e industrial de filme fino
• caracterização metrológica no desenvolvimento de processos de semicondutores
Ambos os sistemas suportam a mesma vasta gama de aplicações com mapeamento completo de wafers até 100 mm (X’Pert³ MRD) ou 200 mm (X’Pert³ MRD XL).
Baixar catálogoOs sistemas X'Pert³ MRD oferecem soluções avançadas e inovadoras de difração de raios X, desde a pesquisa até o desenvolvimento e o controle de processos. As tecnologias usadas tornam todos os sistemas atualizáveis em campo para todas as opções existentes e novos desenvolvimentos em hardware e software.
A versão padrão de pesquisa e desenvolvimento para uso com amostras de filme fino, wafers (mapeamento completo de até 100 mm) e materiais sólidos. A capacidade de análise de alta resolução é melhorada pela excelente precisão de um novo goniômetro de alta resolução utilizando codificadores Heidenhain.
O X'Pert³ MRD XL atende a todos os requisitos de análise de XRD de alta resolução para semicondutores, filmes finos e as indústrias de materiais avançados. É possível fazer o mapeamento completo de wafers até 200 mm. A versão X’Pert3 vem com maior tempo de vida útil dos componentes do feixe incidente (CRISP) e tempo máximo de atividade com obturadores pneumáticos e atenuadores de feixe.
Ao facilitar a análise de wafers de até 300 mm de diâmetro, com uma sofisticada opção de carregamento automático de wafers, o X'Pert³ MRD XL torna-se uma ferramenta avançada para o controle da qualidade de estruturas industriais de camadas finas.
O X'Pert³ Extended MRD (XL) traz maior versatilidade para a gama de sistemas X'Pert³ MRD. Uma plataforma de montagem adicional do PreFIX possibilita a montagem de um espelho de raios X e de um monocromador de alta resolução em linha, aumentando significativamente a intensidade do feixe incidente.
É possível beneficiar-se da maior versatilidade de aplicação, sem comprometer a qualidade dos dados, a difração de raios X de alta resolução com altas intensidades, tempos mais curtos para medições, tais como mapeamento de espaço recíproco, e reconstrução da configuração padrão para a estendida, em questão de minutos, graças ao conceito PreFIX. Com o PreFIX de segunda geração, a reconfiguração é fácil e o posicionamento óptico é mais preciso do que nunca.
Com o sistema X'Pert³ MRD (XL) para difração em plano, é possível medir a difração a partir de planos de cela perpendiculares à superfície da amostra.
Dois dos muitos benefícios são geometrias padrão e em plano em um único sistema e uma ampla gama de experimentos de difração em filmes policristalinos e filmes finos altamente perfeitos.
| Carcaça | Goniômetro | Fonte de raio X Detetores / Estágios |
|---|---|---|
| Dimensões: 1370 (L) x 1131 (P) x 1947 (A) mm | Goniômetro horizontal | Tubos de raios-X totalmente cerâmicos produzidos pela fábrica especializada da Malvern Panalytical |
| Peso: 1150 kg | Raio: 320 mm | Livre de ferramentas para troca de foco de linha a pontual |
| Intervalo utilizável máximo (dependendo dos acessórios) -40°< 2θ < 160° | Gerador de 3 kW compatível com todos os tubos de raio X atuais e futuros | |
| Atende a todas as normas mundialmente relevantes de segurança elétrica, mecânica e de raio X, com todos os tipos de ânodos | Sistema de codificação óptica direta para precisão de goniômetro por toda a vida útil, usando codificadores Heidenhain precisamente alinhados | Detectores de pixel híbrido com o menor tamanho de pixel (55 x 55 µm2) disponível no mercado |
| O sistema se apoia em rodas para facilitar a instalação e o transporte | Precisão de longo alcance: ±0,0025° | Berço de 5 eixos com 100 x 100 mm2 x, translação y |
| Precisão de curto alcance (0,5°): ±0,0004 | Rotação Chi: ±92° | |
| Reprodutibilidade angular: < 0,0002° | Rotação Phi: 2 x 360° | |
| Menor incremento: 0,0001° |
O PIXcel3D é um detector de pixel híbrido exclusivo de estado sólido 2D. Cada pixel possui 55 mícrons x 55 mícrons e a matriz do detector é de 256 x 256 pixels. O detector, agora baseado na tecnologia Medipix3, traz um sinal incomparável ao ruído com sua função de propagação de ponto de um pixel e vários níveis de discriminação de energia.
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no
nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento
e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
Atendimento durante toda a vida útil
• Suporte por telefone e remoto
• Manutenção preventiva e checkups
• Contratos flexíveis de atendimento ao cliente
• Certificados de desempenho
• Atualizações de hardware e software
• Suporte local e global
Agregando valor aos seus processos
• Desenvolvimento/otimização da preparação de amostras
• Metodologias analíticas
• Soluções completas para XRD
• Operações via IQ/OQ/PQ, garantia de qualidade (GLP, ISO17025) ou round robins/estudos interlaboratoriais
• Automação de processos de laboratório
• Serviços de consultoria
• Treinamento no local ou em nossos centros de competência
• Ampla gama de cursos básicos e avançados sobre produtos, aplicações e software
O X’Pert³ MRD e o MRD XL da Malvern Panalytical são sistemas de solução de raios X multifuncionais que podem ser usados em muitas aplicações do setor, incluindo:
Semicondutores e wafers de cristal único
Seja para estudos de crescimento ou projeto de dispositivos, a medição da qualidade da camada, espessura, deformação e composição da liga usando XRD de alta resolução tem sido o centro da pesquisa e do desenvolvimento em dispositivos semicondutores multicamada eletrônicos e optoeletrônicos. Com várias opções de espelhos de raios X, monocromadores e detectores, o X’Pert3 MRD e o MRD XL oferecem configurações de alta resolução para se adequar a diferentes sistemas de materiais que vão desde semicondutores compatíveis com celas, passando por camadas de buffer relaxadas até novas camadas exóticas em substratos não padrão
Sólidos policristalinos e filmes finos
Camadas policristalinas e revestimentos são um componente importante de muitos filmes finos e dispositivos multicamadas. A evolução da morfologia da camada policristalina durante a deposição é uma área de estudo chave na pesquisa e no desenvolvimento de materiais funcionais. O X’Pert3 MRD e o X’Pert3 MRD XL podem ser totalmente equipados com uma gama de fendas, espelho de raios X de feixe paralelo, lente policapilar, fendas cruzadas e monocapilares para dar a escolha completa de óptica de feixe incidente para reflectometria, tensão, textura e ID de fase.
Filmes ultrafinos, nanomateriais e camadas amorfas
Os dispositivos funcionais podem conter filmes finos desordenados, amorfos ou nanocompostos. A flexibilidade dos sistemas X’Pert3 MRD e MRD XL permite a incorporação de vários métodos analíticos. Uma gama de colimadores ópticos, de fendas e placas paralelas de alta resolução está disponível para proporcionar o desempenho ideal para métodos de incidência rasante, difração em plano e reflectometria.
Medição em condições não ambientes
Estudar o comportamento dos materiais sob diversas condições é uma parte essencial da pesquisa de materiais e do desenvolvimento de processos. O X’Pert3 MRD e o MRD XL foram concebidos para a fácil incorporação da plataforma da amostra não ambiente DHS1100 da Anton Paar, permitindo medições automatizadas sob uma faixa de temperaturas e atmosfera inerte
Instrument gives excellent accuracy and is of good quality.Good intensity and rapid performance. It is easy to operate.
Yifan Zheng — Zhejiang University of Technology
Versatile XRD system for research & development. A new generation of tools for your wafer analysis.
