Soluções de metrologia de semicondutores

O que é Metrologia de Semicondutores?

Precisão e qualidade são palavras-chave na indústria de semicondutores, um campo que encontra uso em todos os ambientes do mundo de hoje. Metrologia de semicondutores refere-se a etapas e práticas que estão sendo implementadas na área para a medição e caracterização das propriedades físicas e elétricas de dispositivos e materiais semicondutores. Dimensões precisas e metrologia determinadas por resultados de medição têm sido os fatores-chave até agora para processos de produção com baixas tolerâncias e altos desempenhos.

A Malvern Panalytical oferece uma gama de soluções avançadas de metrologia de raios X, ferramentas e tecnologias desenvolvidas com o objetivo de apoiar várias etapas de fabricação de semicondutores com medições não destrutivas, desde a caracterização de materiais até a inspeção de wafers.

Metrologia na fabricação de semicondutores

Como apresentado anteriormente, a Metrologia desempenha um papel vital na indústria dos semicondutores, fornecendo caracterização, medições e análises de materiais essenciais.

À medida que esta indústria continua a evoluir, o fornecimento de propriedades estruturais e químicas torna-se cada vez mais crítico em várias áreas-chave:

Otimização de processos
As ferramentas de metrologia ajudam a aprimorar os processos de fabricação, como controle de processos, aprimoramento de produtividade e inovação e desenvolvimento, monitorando continuamente e fornecendo feedback rápido, garantindo assim taxas de rendimento mais elevadas e a expansão desta indústria para tamanhos de recursos cada vez menores
Garantia de controle de qualidade
Os padrões de qualidade dos dispositivos semicondutores são rigorosos e essenciais, razão pela qual a metrologia garante a identificação precoce de falhas ou desvios das propriedades desejadas, permitindo a intervenção precoce nos processos e reduzindo a probabilidade de dispositivos defeituosos. A característica não destrutiva da metrologia de raios X permite a sua integração nos processos sem comprometer a integridade da amostra.

Por que a inspeção de wafer é importante?

A inspeção de wafer refere-se ao processo pelo qual os wafers semicondutores são verificados estruturalmente e quimicamente quanto a defeitos, irregularidades e inomogeneidades. Desta forma, quaisquer problemas podem ser encontrados muito antes dos testes funcionais no dispositivo final. A inspeção de wafers com metrologia de raios X é frequentemente usada para medir as seguintes propriedades:

Mapeamento de wafers quanto a espessura e composição do filme
Mapeamento de wafers quanto a qualidade do cristal usando curvas de oscilação
Medições de compensação de alta precisão

Controlar essas propriedades é fundamental para fabricar dispositivos funcionais dentro de suas especificações de design. A detecção precoce aumenta o rendimento e economiza tempo e recursos na perspectiva de longo prazo.

Nossos instrumentos de metrologia de semicondutores

Ao longo dos anos, a Malvern Panalytical continuou a fornecer aos seus clientes soluções de alto rendimento e as melhores da categoria para dar suporte aos requisitos de processo em constante mudança e cada vez mais rigorosos na indústria de semicondutores.

A Malvern Panalytical está intimamente associada ao setor de eletrônicos com uma ampla gama de soluções em toda a cadeia de valor:

A XRF (2830 ZT) fornece informações de espessura e composição de uma ampla gama de filmes finos, com níveis de contaminação e dopantes e uniformidade da superfície em wafers de até 300 mm de tamanho
A XRD (X'Pert3 MRD e X'Pert3 MRD XL) fornece informações absolutas, sem calibração e precisas sobre o crescimento do cristal, incluindo composição do material, espessura do filme, perfil de classificação e qualidade de fase e de cristal
Orientação de cristal (Crystal Orientation Range) rápida e precisa para aplicações de boule, lingote, disco e wafer