O analisador de wafers de fluorescência de raios X por dispersão em comprimento de onda (WDXRF) 2830 ZT oferece recursos de última geração para medir a espessura e a composição de filme. Projetado especificamente para o setor de semicondutores e de armazenamento de dados, o analisador de wafers 2830 ZT possibilita determinar a composição das camadas, a espessura, o nível de dopantes e a uniformidade de superfície para vários tipos de wafers de até 300 mm.
Baixar catálogoO tubo de raios X SST-MAX de 4 kW possui a inovadora tecnologia ZETA que elimina os efeitos do envelhecimento dos tubos de raios X. O desempenho deste 'novo tubo' é preservado durante toda a sua vida útil. Além de alta sensibilidade, a tecnologia ZETA também garante análises rápidas e tempos de medição curtos ao longo de toda a vida útil do tubo. A tecnologia ZETA reduz bastante a necessidade de correção de desvios e recalibração, o que aumenta a produtividade e o tempo de operação do instrumento.
Os tubos de raios X convencionais sofrem evaporação de tungstênio, o que provoca depósitos no interior da janela de berílio do tubo. A instrumentação que utiliza esses tubos de raios X requer correção regular de desvios para compensar a diminuição de intensidade, especialmente para elementos leves.
A implementação do tubo SST-MAX no 2830 ZT resolve esse problema de desvio, maximizando o tempo de operação e preservando a precisão do instrumento ao longo do tempo.
O 2830 ZT é fornecido com o software SuperQ avançado, que inclui o pacote de software FP Multi desenvolvido especificamente para análises de multicamadas. A interface de usuário do software garante que até mesmo operadores inexperientes possam realizar análises totalmente automatizadas dos parâmetros fundamentais das multicamadas.
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
O FALMO-2G se integra facilmente a qualquer laboratório ou fábrica: desde o simples carregamento manual do transportador até total automação. Totalmente flexível, seu design permite que o gerente da fábrica escolha entre FOUP, SMIF ou portas de carga da cassete aberto, com uma configuração de porta de carga simples ou dupla. Todas as várias configurações do FALMO-2G são compatíveis com o software GEM300. O espaço ocupado pelo FALMO-2G foi minimizado, sem comprometer a flexibilidade e a funcionalidade
O software SuperQ do instrumento possui vários módulos de fácil utilização projetados para flexibilizar sua operação por pesquisadores e engenheiros. Alternar entre receitas é fácil, assim como ajustar os parâmetros do equipamento para atender as preferências do usuário.
| Tamanho da amostra | Wafers de 100 - 300 mm por carregamento direto; tamanhos menores podem ser manipulados por adaptadores menores |
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| Tipos de amostras | As opções de carregamento disponíveis são FOUP, SMIF, por cassete aberto e manual |
| Rendimento | Produtividade de até 25 wafers por hora |
| Compatibilidade do sistema |
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| Faixa de tamanho de medição | Tamanho do ponto de medição 40 mm e 10 mm; outros tamanhos do ponto possíveis | |
| Tecnologia | Tecnologia ZETA |
| Canais | Até 24 canais fixos
Máx. 2 goniômetros Canal de boro de desempenho ultra-alto para a sensibilidade e a produtividade mais altas Canais de alto desempenho especiais para alta sensibilidade e alta produtividade disponíveis para B, C, N, O, F, Mg, Wsix, TiSix, CoSix Argônio/metano não inflamável Detetor de fluxo
Detetor vedado
Leitor 10 º-100 º 2θ
Cintilação com janela de Be de 300 µm
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| Teste regulamentar | Compatível com SEMI S2/S8
Total conformidade com SECS/GEM
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Os acessórios disponíveis para o 2830 ZT estão listados abaixo.
Também oferecemos uma variedade de serviços analíticos, desde análises elementares, estruturais e morfológicas até serviços de validação e qualificação. Saiba mais sobre os serviços de teste XRF aqui.
DifferAction is an optional extension for our Wafer Analyzer 2830 ZT spectrometer platform with SuperQ software, which enables automatic wafer angle optimization for more accurate XRF analysis.
As an additional package for our Wafer Analyzer 2830 ZT platform with SuperQ software, ToolMatch makes consistent results across your equipment simple.
By calculating the regression of systematic differences in semiconductor analysis, this software enables automatic results tuning, based on the ToolMatch correction between Wafer Analyzers. It is the ideal solution for ensuring consistent results both within and across sites.
Número da versão: 4
Número da versão: 4
Número da versão: 2
Por favor, entre em contato com o suporte para adquirir a última versão do software.
Para garantir que o instrumento permaneça em condição máxima e funcione no nível mais elevado, a Malvern Panalytical oferece uma grande variedade de serviços. Nosso conhecimento e nossos serviços de suporte garantem o funcionamento ideal do instrumento.
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