X’Pert³ MRD XL 無塵室套件

以最經濟有效的投資,因應更多樣的量測環境

X’Pert3 MRD XL 無塵室套件是由多種智慧解決方案所組成,其中包括 MRD XL 專用的循環過濾裝置,可升級您現有的設備,或直接安裝於全新的 X’Pert3 MRD XL。

MRD XL 無塵室套件可過濾半導體晶圓樣品周圍環境的空氣,協助您避免在樣品分析時所造成的汙染。如此一來,您便可以在更多樣的環境中進行測量,無須添購全新的儀器設備。

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概覽

無塵室套件的前置過濾器和 HEPA 過濾器能提供高於 99.995% 的過濾效率,移除由進氣口進入的空浮微粒。此過濾裝置可確保 MRD XL 內部樣品上方和周圍持續維持純淨的空氣流動。

無塵室套件可符合 ISO Class 4 標準,讓您在更多樣的環境中進行測量,協助您從實驗室轉型為晶圓廠,並支援其中較為複雜的分析方法轉換。

優點與特色

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適用於多種環境,其中包括無塵室 (ISO Class 4)升級方案可滿足大多數安全認證需求高相容性全方位套件,足以因應您的量測需求無須額外添購全新設備,可降低資本支出高度耐用,使用壽命更長

  • 無塵室套件最高可符合 ISO Class 4 標準
    無塵室套件可在多種不同環境中使用,包括實驗室、醫療設施、微環境以及無塵室。

  • 可於設備現場改裝升級
    無塵室套件可於現場進行簡易翻新,將您的 X’Pert3 MRD XL 直接升級。我們的維修工程師會在安裝升級前,徹底清潔機台內部。或者,當您選購包含無塵室套件的全新 X’Pert3 MRD XL,全機台將於無塵室進行組裝並加以雙重包裝。

  • 可滿足大多數安全認證要求
    無塵室套件使用高效能磁力裝置與 X’Pert3 MRD XL 整合,確保儀器機櫃外觀不受任何影響。此升級不影響 X 光系統及相關設定,可滿足大多數現有的安全認證要求。

  • 模組化解決方案
    X’Pert3 MRD XL 為模組化系統。有多樣化的工具和功能可供選用,讓您能輕鬆地根據公司需求進行設定,並隨著成長進程加以調整。這種模組化的全方位解決方案,可幫助您減少在新儀器設備上的投資。

  • 使用壽命長
    無塵室升級套件的耐用度極佳,幾乎不需要汰換更新。

產品服務

我們的解決方案輔有最優質的產品服務與技術支援,並由我們的維修工程師或全球客戶支援團隊提供專業服務。若您有任何需求,請聯絡我們!

  • 現場升級改裝
  • 現場零件更換與校準
  • 全球客戶支援團隊