概述
快速而精準的晶體方向測量從未那麼容易取用 – 為您介紹 SDCOM,您的容易操作的輕巧型 XRD。方位角掃描方法可解鎖超高速測量,在五秒之內傳回結果。
SDCOM 提供高達 0.01o 的最高精確度等級,並有各種樣品載台與傳輸夾具,包括橫向晶體方向的標記選項,這款容易使用的輕巧型產品是晶圓處理與研究領域中許多應用的最佳解決方案。
特點與優勢
超高速而精確:方位角掃描方法
方位角掃描方法只需要一個測量週期就能夠收集完全判斷方向的所有必要資料,可在幾秒的極短測量時間內達到高精確度。
樣品會旋轉 360o,並將 X 光來源與偵測器放置到能夠在每次旋轉時達到特定反射次數的位置。這些反射可相對於旋轉軸測量晶格方向,並在短時間內達到高精確度。
![超高速而精確:方位角掃描方法](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/3296c4dd-0bb8-4432-87c4-af82010b6e83/shutterstock_1656251128_Original%20file.jpg?quality=60)
輕巧而多功能
SDCOM 外型輕巧,無論是在研究還是製造中,都使其能夠隨意移動,並輕鬆融入您的製程。XRD Suite 軟體既強大又具有直覺性,可方便各種使用者輕鬆操作。
彈性是 SDCOM 的關鍵,這特別反映到它能夠測量的廣泛材料之上。SDCOM 可以測量的晶體尺寸最小為 1 mm,可測量材料的範例包括:
- 立方晶系,任意未知方向:矽、鍺、砷化鎵、磷化鎵、磷化銦
- 立方晶系,特殊方向:銀、金、鎳、鉑、銻化鎵、砷化銦、銻化銦、硫酸銨鋁、碲化鋅、碲化鎘、碳化矽 3C、磷酸鹽緩衝生理鹽水、碲化鉛、碲化亞錫、氧化鎂、氟化鋰、偏鋁酸鎂、鈦酸鍶、鈦酸鑭
- 四方晶系:氟化鎂、二氧化鈦、鋁酸鍶鑭4
- 六方晶系與三方晶系:碳化矽 2H、4H、6H、15R、氮化鎵、氧化鋅、鈮酸鋰、二氧化矽 (石英)、氧化鋁 (藍寶石)、磷酸鎵、矽酸鎵鑭
- 正交晶系:矽酸鎂、鎵酸釹
此外還有各種樣品載台與傳輸夾具可以進一步擴展 SDCOM 的應用可能性,確保與您的工作流程相容。另外也提供手動與電動晶圓定位分析台。
![輕巧而多功能](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/90370b49-c764-42f0-9c45-af560098009c/shutterstock_2159247015_silicone-wafer-under-microscope_Original%20file.jpg?quality=60)
容易使用的精確性
SDCOM 根據樣品提供最高達到 0.01o 的極佳精確性,並可測量尺寸為 1 mm 及以上的晶體。由於使用方位角掃描方法,在維持此精確性的同時還能夠達到最高的速度,此方法在單次測量旋轉中提供了完整分析晶體方向特性的能力。另外還有包含橫向晶體方向標記功能的選項。
由於手動處理與直覺性的軟體設計,各種類型的使用者都能夠輕鬆使用 SDCOM,無論是在使用者經驗等級可能有很大差異的研究還是製造領域。
![容易使用的精確性](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/89b6e832-e5be-478d-8431-af82010b73ee/shutterstock_1962503557_Original%20file.jpg?quality=60)
符合成本效益
SDCOM 的 X 光管為氣冷式,可免用水冷。由於 SDCOM 的高效與小巧的體積,其耗能可以保持在最低程度,同時您的運轉成本也能保持在最低程度。
![符合成本效益](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/fff5ba60-47ba-416b-8313-aee700af9bf6/shutterstock_2110660535_Original%20file.jpg?quality=60)
主要應用
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- 標記與測量平面內方向
- SDCOM 提供超高速、高精確的晶體方向測量,非常適用於晶圓生產與處理的各種應用,包括標記與測量平面內方向。設計輕巧且方便攜帶,無論您在製程中的哪個地方需要它,都可以部署。
- SDCOM 能夠以高精確度測量各種材料最小達到 1 mm 的小晶體,並可支援半導體產業的複雜與變化需求。
- 生產品質控制
- 例行製程控制要求速度、精確度與可重複性,而這些東西 SDCOM 全都可以提供。由於其桌上形式與氣冷 X 光管,其超高速測量速度將全面提升您的生產力,而不會對您的運轉成本造成太大影響。
- 材料研究
- SDCOM 能夠在小型實驗室空間中測量各種晶體類型系列,是標準研究工作流程的最佳選擇。將耗能降至最低,再加上無需水冷的氣冷式 X 光管,可以將運轉成本保持在最低程度。
- SDCOM 也很容易使用及透過手動處理方式輕鬆操作,使其成為擁有許多不同使用者的研究實驗室的實用解決方案。
規格
X 光源 | 30 W 氣冷 X 光管,銅陽極 |
偵測器 | 閃爍計數器技術 |
樣品載台 | 精確轉台,設定精確度 0.01°,自訂樣品載台與傳輸夾具 |
樣品直徑 | 最小達 2 mm ø,最大達 200 mm |
環境溫度 | ≤ 30° C |
PC 需求 | Windows 10 或最新版本、NET Framework 更新、2 個乙太網路連接埠 |
電源要求 | 100 至 230 V,單相,500 W |
尺寸 | 600 mm (長) x 600 mm (寬) x 840 mm (高) |
重量 | ca,100 kg |
認證 | 在 ISO 9001 指南之下製造,符合 CE 標準 |
所有技術參數都可能因研發而更改 |
配件
支援
支援服務
- 電話與線上支援
- 設備保養與定期檢查
- 彈性的客戶維護合約
- 效能認證證書
- 硬體和軟體相關升級
- 台灣當地與全球支援
專業技術
- 元素與結構半導體精密測量的統包解決方案
- 自動化與諮詢
- 教育訓練