界面粗糙度​

X 射线散射提供了获取埋入界面信息的无损方法。 X 射线反射计对于膜厚度、材料密度和界面粗糙度非常灵敏。 然而，仅从镜面反射来看，无法将密度梯度与物理粗糙度区分开来。 来自粗糙表面/界面的漫反射非相干部分可以通过 X 射线非镜面散射得到最佳测量。 在其中一次扫描中，样品以固定的检测器角度旋转。

漫散射数据揭示了粗糙度的典型特征。 在镜面部分较低和较高侧的这些翼形（即所谓的 Yoneda 峰）表明存在粗糙度。 从翼形到镜面部分的范围受散射长度密度的影响。 通过拟合描述失真波玻恩近似中的粗糙界面的样本模型，来进行分析。