입계각 입사 소각 X선 산란(GISAXS)

박막 나노물질은 에너지 기술, 광전지 물질, 반도체 장치, 포토닉스, 음향 시설 및 촉매 작용 등의 분야에서 활발하게 연구되고 있습니다. 1990년대 초부터 나노구조의 박막을 합성하는 방법이 급증했습니다. 박막 합성은 리소그래피 방법과 결합될 수 있으며, 나노 구조의 배치를 개선하기 위해 종종 사용됩니다.

집적 회로:
다공성 실리카 막은 다공도를 사용하여 커패시터의 유전체 특성을 제어하는 집적 회로에 주로 사용합니다. 이러한 나노다공성 물질은 졸겔 공정에서 양친매성 블록 공중합체를 사용하여 합성할 수 있습니다. 구조 유도체를 사용하여 매우 정연한 나노다공성 배열을 생성할 수 있습니다.

자기 메모리 장치:
다수의 서로 다른 처리 경로를 통해 금속 및 금속 산화물 나노입자 배열을 합성하여 전자 및 자기에 적용합니다.

광전자 공학 및 LED:
고급 분자선 에피택시(MBE) 및 화학 증착(CVD) 방법을 사용하여 광전자에 적용하는 반도성 양자점과 나노와이어를 생산합니다.

촉매 작용:
용해상 방법을 사용하여 귀금속 나노입자의 박막과 단층을 합성할 수 있으며 촉매 작용에 사용합니다.
배터리 및 가스 저장 시스템:
가스 저장에 나노다공성을 활용합니다.

품질 제어:
반사 측정법에서는 계면 품질에 대한 자세한 심층 정보를 제공할 수 있다면, GISAXS는 계면 간 단계와 불규칙성을 포함한 측면 크기 확인에 사용합니다.

Empyrean 다목적 회절분석기에서 GISAXS 실험을 수행할 수 있습니다. GISAXS 구성, GISAXS 배열 및 측정에 적용하는 것에 대한 전체 지침은 Empyrean 사용 설명서에서 제공합니다.

Cu Kα 방사선을 이용하는 실험의 경우 낮은 각도(예: 0~3^o)에서 GISAXS 데이터를 수집합니다. 이 제품군은 55μm 피치 PIXcel^3D 검출기를 사용하는 2D 영상 처리에 가장 적합합니다. PIXcel^3D 및 PIXcel^3D 2X2 검출기를 사용하여 2D GISAXS 측정을 수행할 수 있습니다. 검출기 백그라운드가 극히 낮으므로 계수 시간이 길어서 약한 산란을 관찰할 수 있습니다.