개요
그 어느 때보다 쉽게 결정 방향을 빠르고 정밀하게 측정할 수 있습니다. 사용자 친화적인 소형 XRD인 SDCOM을 소개합니다. 방위각 스캔 방법으로 초고속 측정이 가능하여 5초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다.
최대 0.01o에 달하는 최고 수준의 정밀도를 제공하고, 측면 결정 방향 표시 옵션을 포함하여 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비를 갖추고 소형으로 사용이 간편한 SDCOM은 다양한 웨이퍼 공정 및 연구 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.
특징 및 장점
초고속 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법
방위각 스캔 방법은 단 하나의 측정 원으로 결정 방향을 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하고, 단 몇 초의 매우 짧은 측정 시간 안에 높은 정밀도를 제공합니다.
샘플은 360o 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다. 이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 짧은 시간 내에 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.
![초고속 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/3296c4dd-0bb8-4432-87c4-af82010b6e83/shutterstock_1656251128_Original%20file.jpg?quality=60)
작은 사이즈 및 다양한 기능
SDCOM은 가볍고 크기가 작아서 쉽게 이동할 수 있으며, 연구나 산업 분야와 관계없이 공정에 쉽게 적용할 수 있습니다. XRD Suite 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.
유연성은 SDCOM의 주요 특징이며, 특히 측정 가능한 물질의 범위에서 이러한 특징이 잘 나타납니다. SDCOM은 크기가 1mm 이상인 결정을 측정할 수 있으며, 측정 가능한 물질의 예는 다음과 같습니다.
- 입방체(Cubic), 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- 입방체(Cubic), 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- 정방정계(Tetragonal): MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- 육각형(Hexagonal) 및 삼각형(Trigonal): SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
- 사방정계(Orthorhombic): Mg2SiO4, NdGaO3
또한 워크플로와의 호환성을 보장하는 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비가 있으므로 SDCOM 응용 분야의 가능성을 더욱 확장할 수 있습니다. 수동 및 전동식 웨이퍼 매핑 스테이지도 사용할 수 있습니다.
![작은 사이즈 및 다양한 기능](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/90370b49-c764-42f0-9c45-af560098009c/shutterstock_2159247015_silicone-wafer-under-microscope_Original%20file.jpg?quality=60)
사용자 친화적인 정밀도
SDCOM은 샘플에 따라 최대 0.01 o의 뛰어난 정밀도를 제공하며, 1mm 이상의 결정 크기를 측정할 수 있습니다. 한 번의 측정 회전에서 결정 방향을 완벽하게 분석하는 방위각 스캔 방법 덕분에 최고 속도에서도 정밀도를 유지할 수 있습니다. 측면 결정 방향 표시 기능을 포함하는 옵션도 있습니다.
수동 조작과 직관적인 소프트웨어 설계 덕분에 SDCOM은 다양한 유형의 사용자가 간편하게 사용할 수 있으므로 사용자 경험 수준이 다양한 연구 및 산업 분야 모두에서 실용적입니다.
![사용자 친화적인 정밀도](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/89b6e832-e5be-478d-8431-af82010b73ee/shutterstock_1962503557_Original%20file.jpg?quality=60)
비용 효율성
SDCOM의 X선관은 공냉식 냉각을 이용하므로 수냉식 냉각이 필요하지 않습니다. SDCOM의 효율성과 적은 설치 면적 덕분에 에너지 소비와 운영 비용을 최소화할 수 있습니다.
![비용 효율성](https://p3.aprimocdn.net/malvernpanalytical/fff5ba60-47ba-416b-8313-aee700af9bf6/shutterstock_2110660535_Original%20file.jpg?quality=60)
주요 응용 분야
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- 평면 방향 표시 및 측정
- SDCOM은 평면 방향 표시 및 측정을 포함하여 웨이퍼 생산 및 공정의 다양한 응용 분야에 이상적인 초고속 고정밀 결정 방향 측정을 제공합니다. 가볍고 휴대성이 뛰어나 공정에서 필요한 곳이면 어디든지 투입할 수 있습니다.
- 높은 정밀도로 다양한 물질의 1mm까지 작은 결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 반도체 산업의 복잡하고 변화하는 요구에 부합하는 성능을 제공할 수 있습니다.
- 생산 품질 관리
- SDCOM은 일상적인 프로세스 제어에서 요구되는 속도, 정밀도, 반복성을 제공합니다. 데스크톱 형식과 공랭식 X선관 덕분에 매우 빠른 속도로 측정할 수 있어서 운영 비용에 큰 영향을 미치지 않고도 생산성을 높일 수 있습니다.
- 재료 연구
- 실험실 내 설치 면적이 작지만 다양한 범위의 결정 유형을 측정할 수 있는 SDCOM은 표준 연구 워크플로에 적합합니다. 에너지 소비를 최소화하고, 수랭식 냉각이 필요 없는 공랭식 X선관을 사용하므로 운영 비용을 낮출 수 있습니다.
- 또한 SDCOM은 수동으로 쉽게 조장할 수 있으므로 다양한 사용자가 있는 연구 실험실에 실용적인 솔루션입니다.
사양
X선 소스 | 30W 공랭식 X선관, Cu 양극 |
검출기 | 섬광 계수기 기술 |
샘플 홀더 | 정확한 턴테이블, 설정 정확도 0.01°, 맞춤형 샘플 홀더 및 이송 설비 |
샘플 직경 | 최소 2mm ø, 최대 200mm |
주변 온도 | ≤ 30°C |
PC 요구 사항 | Windows 10 또는 최신 버전, NET Framework 업데이트, 이더넷 포트 2개 |
전력 요건 | 100~230V, 단상, 500W |
크기 | 600mm(L) x 600mm(B) x 840mm(H) |
무게 | ca, 100kg |
인증 | ISO 9001 지침의 CE 준수에 따라 제작되었습니다. |
모든 기술 매개 변수는 R&D에 따라 변경될 수 있습니다. |
액세서리
이송 설비(Transfer fixtures)
와이어 톱, 그라인딩 등의 옵션을 포함한 전용 이송 설비를 추가하면 SDCOM을 공정에 완벽하게 통합할 수 있습니다.
지원팀
지원 서비스
- 전화 및 원격 지원
- 예방적 유지보수 및 점검
- 유연한 고객 관리 계약
- 성능 인증서
- 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
- 지역 및 글로벌 지원
전문 기술
- 원소 및 구조 반도체 계측을 위한 턴키 솔루션
- 자동화 및 컨설팅
- 훈련 및 교육