개요
그 어느 때보다 쉽게 결정 방향을 빠르고 정밀하게 측정할 수 있습니다. 사용자 친화적인 소형 XRD인 SDCOM을 소개합니다. 방위각 스캔 방법으로 초고속 측정이 가능하여 10초 이내에 결과를 얻을 수 있습니다.
최대 0.01o의 최고 수준의 정밀도를 제공하는 동시에 다양한 액세서리를 지원하는 SDCOM은 웨이퍼 공정 및 연구 분야의 다양한 응용 분야에 이상적인 솔루션입니다.
특징 및 장점
빠르게 정밀도를 구현하는 방위각 스캔 방법
방위각 스캔 방법에서는 방향을 완전히 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하기 위해 단 한 번의 측정 회전만 필요하며, 정확도는 손상하지 않으면서 10초 이내에 결과를 제공합니다.
샘플은 360o 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다. 이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 최대 0,01o의 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.
작은 사이즈 및 다양한 기능
가볍고 컴팩트한 디자인의 SDCOM은 연구 또는 산업 공정에서 쉽게 통합할 수 있습니다. XRD Suite 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.
유연성은 SDCOM의 주요 특징이며, 특히 측정 가능한 물질의 범위에서 이러한 특징이 잘 나타납니다. SDCOM은 직경 2mm부터 직경 300mm까지 결정을 측정할 수 있습니다.
유연성을 높이기 위해 SDCOM은 Theta 스캔도 지원합니다. 이를 통해 훨씬 더 넓은 범위의 물질과 오프 컷을 다룰 수 있습니다.
또한 워크플로와의 호환성을 보장하는 다양한 샘플 홀더 및 이송 설비가 있으므로 SDCOM 응용 분야의 가능성을 더욱 확장할 수 있습니다. 수동 및 전동식 웨이퍼 매핑 스테이지도 사용할 수 있습니다.
- 입방체, 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- 입방체, 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- 정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- 육각형 및 삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14
- 사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3
- 기타 모든 단결정 물질
비용 효율성
SDCOM의 X선관은 공랭식 냉각을 이용하므로 냉각기 또는 수랭식 회로가 필요하지 않습니다. SDCOM의 효율성과 적은 설치 면적 덕분에 에너지 소비와 운영 비용을 최소화할 수 있습니다.
주요 응용 분야
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- 평면 방향 표시 및 측정
- SDCOM은 평면 방향 표시 및 측정을 포함하여 웨이퍼 생산 및 공정의 다양한 응용 분야에 이상적인 초고속 고정밀 결정 방향 측정을 제공합니다. 가볍고 휴대성이 뛰어나 공정에서 필요한 곳이면 어디든지 투입할 수 있습니다.
- 높은 정밀도로 다양한 물질의 1mm까지 작은 결정을 측정할 수 있는 SDCOM은 반도체 산업의 복잡하고 변화하는 요구에 부합하는 성능을 제공할 수 있습니다.
- 생산 품질 관리
- SDCOM은 일상적인 프로세스 제어에서 요구되는 속도, 정밀도, 반복성을 제공합니다. 데스크톱 형식과 공랭식 X선관 덕분에 매우 빠른 속도로 측정할 수 있어서 운영 비용에 큰 영향을 미치지 않고도 생산성을 높일 수 있습니다.
- 물질 연구
- 실험실 내 설치 면적이 작지만 다양한 범위의 결정 유형을 측정할 수 있는 SDCOM은 표준 연구 워크플로에 적합합니다. 에너지 소비를 최소화하고, 수랭식 냉각이 필요 없는 공랭식 X선관을 사용하므로 운영 비용을 낮출 수 있습니다.
- 또한 SDCOM은 수동으로 쉽게 조장할 수 있으므로 다양한 사용자가 있는 연구 실험실에 실용적인 솔루션입니다.
사양
| X선 소스 | 30W 공랭식 X선관, Cu 양극 |
| 검출기 | 섬광 계수기 기술 |
| 샘플 홀더 | 정확한 턴테이블, 설정 정확도 0.01°, 맞춤형 샘플 홀더 및 이송 설비 |
| 샘플 직경 | 최소 2mm ø, 최대 200mm |
| 주변 온도 | ≤ 30°C |
| PC 요구 사항 | Windows 10 또는 최신 버전, NET Framework 업데이트, 이더넷 포트 2개 |
| 전력 요건 | 100~230V, 단상, 500W |
| 크기 | 600mm(L) x 600mm(B) x 840mm(H) |
| 무게 | ca, 100kg |
| 인증 | ISO 9001 지침의 CE 준수에 따라 제작되었습니다. |
| 모든 기술 매개 변수는 R&D에 따라 변경될 수 있습니다. | |
액세서리
이송 설비(Transfer fixtures)
와이어 톱, 그라인딩 등의 옵션을 포함한 전용 이송 설비를 추가하면 SDCOM을 공정에 완벽하게 통합할 수 있습니다.
지원팀
지원 서비스
- 전화 및 원격 지원
- 예방적 유지보수 및 점검
- 유연한 고객 관리 계약
- 성능 인증서
- 하드웨어 및 소프트웨어 업그레이드
- 지역 및 글로벌 지원
전문 기술
- 원소 및 구조 반도체 계측을 위한 턴키 솔루션
- 자동화 및 컨설팅
- 훈련 및 교육
