Omega/Theta

개요

Omega/Theta는 빠르게 진화하는 반도체 환경에서 결정 방향 파악에 있어 신뢰할 수 있는 미래 지향적 파트너입니다. 시장을 선도하는 정밀도, 초고속 측정 속도 및 고급 제작 품질이 자동화의 힘과 결합하여 업계 및 연구 응용 분야에서 결정 방향 및 정렬을 위한 탁월한 효율성과 정밀도를 제공합니다.

특징 및 장점

초고속 및 정밀도: 방위각 스캔 방법

방위각 스캔 방법에서는 방향을 완전히 결정하는 데 필요한 모든 데이터를 수집하기 위해 단 한 번의 측정 회전만 필요하며, 정확도는 손상하지 않으면서 10초 이내에 결과를 제공합니다.

샘플은 360^o 로 회전하며 X선 소스와 검출기가 회전당 특정한 반사 횟수를 얻을 수 있도록 배치됩니다. 이러한 반사를 통해 결정 격자의 방향이 회전축에 대해 최대 0,003^o의 높은 정밀도로 측정될 수 있습니다.

사용자 친화적

Omega/Theta 의 모든 측정은 자동화되어 있으며 사용자 친화적인 XRD 소프트웨어 내에서 관리됩니다. 이 소프트웨어는 일상적인 워크플로를 위해 즉시 사용 가능하고 손쉬운 레시피 기반 측정을 제공합니다.

이 기기는 다양한 MES, SECS/GEM 및 유사한 인터페이스를 사용하여 생산 환경의 기존 공정에 쉽게 통합할 수 있습니다.

다양한 물질의 특성 분석

Omega/Theta 는 모든 단일 결정 재료의 특성을 분석하는 데 사용할 수 있습니다. 일반적으로 사용되는 재료는 다음과 같습니다.

입방체, 임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
입방체, 특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC₃C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl₂O₄, SrTiO₃, LaTiO₃
정방정계: MgF₂, TiO₂, SrLaAlO₄
육각형 및 삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO₃, SiO₂(석영), Al₂O₃(사파이어), GaPO₄, La₃Ga₅SiO₁₄
사방정계: Mg₂SiO₄, NdGaO₃
기타 모든 단결정 재료

편리하고 유연한 샘플 처리

당사의 다양한 액세서리는 시드 보링(Seed Boring)에서 보울 그라인딩(Grinding), 슬라이싱(Slicing) 및 웨이퍼의 최종 제어까지 다양한 응용 분야에서 Omega/Theta의 생산성을 향상하기 때문에, 시간이 지남에 따라 필요한 사항이 변경되더라도 유연하게 대처할 수 있습니다.

대형 잉곳에서부터 소형 플레이트에 이르기까지 모든 요구를 충족할 수 있는 특수 샘플 홀더를 갖춘 Omega/Theta는 다양한 샘플 크기를 수용할 수 있어 생산 및 연구 모두에 가치를 더합니다.

사용자가 정의한 그리드에 결정 방향 또는 표면 왜곡을 매핑하는 자동 X-Y 매핑 스테이지
절단 전에 잉곳(Ingot) 정렬을 위한 스태킹 단계
추가 샘플 회전축
시료 조정 장비
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대형 잉곳에서부터 소형 실린더에 이르기까지 모든 요구를 충족하는 맞춤형 샘플 홀더를 갖춘 Omega/Theta 는 다양한 샘플 크기를 수용할 수 있으므로, 연구 작업과 마찬가지로 생산 워크플로에서도 동일한 수준의 샘플을 간편하게 사용할 수 있습니다.

주요 응용 분야

생산: Omega/Theta 는 제조업체용으로 설계되었습니다. 생산 시 다양한 결정 유형의 초고속 방향 측정 및 정렬, 평면 방향 표시 또는 플랫(Flat) 또는 노치(Notch)의 방향 확인에 적합합니다. 또한 높은 처리량과 자동화 기능 덕분에 생산 품질 관리에도 적합합니다.; 절단 전에 잉곳의 정렬을 위한 스태킹 단계 및 품질 측정을 위한 로킹 커브 도구와 같은 옵션이 추가로 제공되는 Omega/Theta 는 생산 응용 분야의 다목적 파트너입니다.

재료 연구: Omega/Theta 의 높은 정밀도와 유연성은 최대 30kg 및 최대 450mm 길이의 다양한 샘플을 수용할 수 있으며, 크고 복잡한 샘플에 대해 추가 단계를 사용할 수 있기 때문에 재료 연구에 적합합니다.; 광범위한 물질을 분석할 수 있어 R&D 프로세스에 매우 유용하며, 유연한 Theta Scan은 측정 가능성의 새로운 세계를 열어줍니다.

사양

기술 사양
X선 소스	표준 X선관, Cu 양극
검출기	섬광 계수기(단일 또는 이중)
샘플 홀더	샘플 조정을 위한 정확한 턴테이블, 장착 플레이트 및 도구
결정 콜리메이터(Collimator)	사용 가능
매핑	튼튼한 매핑 스테이지 사용 가능
소프트웨어	XRDStudio
수냉	흐름 - 4l/min, 최대 압력 8bar, T ≤ 30°C
PC 워크스테이션	Windows 7 또는 최신, NET Framework 업데이트
크기	H 1,950mm × D 820mm × W 1,200mm
무게	ca, 650kg
전력 요건	208~240V, 16A 단상, 50~60Hz
인증	ISO 9001 지침의 CE 준수에 따라 제작되었습니다.