웨이퍼 매핑용 장치
결정 방향 또는 표면 왜곡을 탐색하고 매핑하기 위한 추가 기능(옵션)
매우 빠르고 정밀(최대 (1/100)o)한 결정 방향을 간편하게 측정하십시오. DDCOM은 상향식 측정 형태 구조로 인해 시간을 추가로 절약하면서 기존 방법보다 100배 이상 빠르게 신뢰할 수 있는 결과를 얻습니다. 이 다기능성 장비는 공랭식 X선관과 휴대용 설계를 활용하여 낮은 운영 비용과 최대의 편의성을 보장합니다.
이 방법에서는 스캔 회전을 한 번만 수행하면 결정 방향 측정에 필요한 모든 데이터를 수집할 수 있습니다. 회전축과 관련된 측정은 단 몇 초 만에 정확한 결과를 제공하면서 처리량을 증가시킵니다.
최대 1/100o의 높은 정밀도로 절단, 그라인딩, 래핑 공정을 제어할 수 있습니다. DDCOM은 단결정의 완전한 격자 방향을 전달합니다. 사전 프로그래밍된 결정 매개 변수에 의해 활성화되며 다양한 구조의 알려지지 않은 임의의 방향도 결정할 수 있습니다. 방위각 설정 기능과 결정 방향 표시는 작업 흐름을 개선하여 효율성을 높이는 데 도움이 됩니다.
DDCOM만의 작은 사이즈의 설계로 어떤 설정에도 시스템을 맞출 수 있습니다. 이 소프트웨어는 강력하면서도 직관적이어서 다양한 사용자가 편리하고 쉽게 조작할 수 있습니다.
DDCOM은 다양한 샘플 유형을 분석해야 하는 연구 및 생산 환경 모두에 적합합니다. DDCOM은 낮은 에너지 소비량과 공랭식 X선관 덕분에 수랭식 냉각이 필요 없어 운영 비용이 저렴합니다.
이 기기는 다양한 구조로 여러 물질을 측정할 수 있으므로 모든 실험실에 유연성을 제공합니다. 측정 가능한 물질의 예는 다음과 같습니다.
기술 사양 | |
---|---|
X선 소스 | 30W 공랭식 X선관, Cu 양극 |
검출기 | 섬광 계수기 2개 |
샘플 홀더 | 정확한 턴테이블, 정확도 0.01°로 세팅, 맞춤 제작된 샘플 홀더 및 이동 설비 |
물리적 사양 | |
크기 | 600mm ×600mm × 850mm |
무게 | 80kg |
전력 | 100~230V, 500W, 단상 |
실내 온도 | ≤ 30°C |
구성 옵션 | |
웨이퍼 매핑 장치(최대 직경 225mm) | |
카세트에서 자동 로딩하는 장치 | |
측정 가능한 물질의 예 | |
입방/임의의 알 수 없는 방향: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF2 | |
입방/특수 방향: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3 | |
정방정계: MgF2, TiO2, SrLaAlO4 | |
육각형/삼각형: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(석영), Al2O3(사파이어), GaPO4, La3Ga5SiO14 | |
사방정계: Mg2SiO4, NdGaO3 | |
고객 요구에 따른 추가적인 재료 |
결정 방향 또는 표면 왜곡을 탐색하고 매핑하기 위한 추가 기능(옵션)
카세트에서 샘플을 자동으로 로딩할 수 있는 추가 도구로 처리량 시간 및 워크플로로 효율성을 개선합니다.