에피택시 분석

회절 패턴을 통해 다음과 같은 중요한 정보를 얻을 수 있습니다. 

• 에피택시층의 합금 조성
• 에피택시층의 균일성
• 에피택시층 두께
• 변형 및 변형 이완 
• 전위 밀도와 관련된 결정질 완성도

특정 조건에서는 상호확산 형성 및 계면 혼합도 조사할 수 있습니다.

빠른 검사를 위해 기질과 층의 피크 위치를 분석에 사용할 수 있습니다. 

그러나 관련 매개변수의 정량법에는 일반적으로 동적 산란 이론에 기초한 전체 패턴 시뮬레이션이 적용됩니다.