µXRD - マイクロX線回折

マイクロ回折は、組成に強い勾配のあるサンプル(汚染物質、含有物、 鉱物学的サンプル、法医学的サンプル、古代絵画の小断面、考古学的サンプル、冶金学的関心のある加工品、ツールインサート、パターンウェーハなど)の微小スポットの特性評価を含めて、多くの回折研究に適用できます。

マイクロ回折応用計測は、入射ビーム経路でペンシルビーム(モノキャピラリや二重交差スリットなど)を発生できるPreFIXモジュールと、サンプルをX線ビーム内に配置して視覚化する高倍率ビデオカメラを備えたEmpyreanプラットフォームで行うことができます。 

当社のハイブリッドピクセル検出器を使用すれば、不均質サンプルの相組成を直接洞察する2D回折パターンを収集できます。