界面粗さ

X線散乱は埋もれた界面の情報を取得する非破壊方式の手段を提供します。 X線反射計測は、膜厚、材料の密度、及び界面粗さの影響を受けます。 ただし、鏡面反射のみから、密度勾配と物理的粗さを区別することはできません。 粗い表面/界面から拡散する非干渉性部分は、X線の非鏡面散乱で最も良好に測定できます。 スキャンの一例として、サンプルを固定の検出器角度で回転させます。

拡散した散乱データにより、粗さの典型的な特徴が明らかになります。 鏡面部分の下側と上側にあるこのようなウイング(いわゆる米田ピーク)は、粗さの存在を示しています。 ウイングから鏡面部分までの範囲は散乱長密度の影響を受けます。 この分析を実行するには、ひずみ波のボルン近似で粗い界面を記述するサンプルモデルを適合させます。