AMASS

機能

AMASSの主な機能

AMASS Basicは、シミュレーションと自動フィッティングを除くすべての機能を提供します。

• 新しい直感的なグラフィカルユーザーインターフェース。
• プロジェクト指向のドキュメント形式: 作業セッションのすべての情報(実行中のスキャン、シミュレーション済みデータ、すべてのパラメータセット、使用されている材料パラメータなど)を保存、取得、および管理できます。
• シングルスキャン、エリアマップ、およびウェハマップのグラフィック。
• 1軸と2軸のデータセットのマージが可能。
• 2軸スキャンからの投影と抽出により、1軸スキャンを生成し詳細な分析が可能。
• 1軸(ロッキングカーブなど)および2軸データ(逆格子空間マップなど)での自動ピーク検索。
• 基材、多層、およびフリンジの自動ピークラベリング。
• 2軸データのラベルつきピーク位置での自動水平/垂直線抽出。
  
• 任意の範囲グループの材料をサポート。
• 勾配、超格子、およびリンクされたパラメータを含むサンプル構造。
• ソフトウェアがラベルつきピーク位置からひずみと緩和、ミスマッチと組成、基材のミスカット方向と曲率、層のモザイク散乱と横方向の相関長さ、厚さ、および超格子周期を抽出。
• フーリエおよび直接法による鏡面反射率データからの厚み測定。
• 任意のスキャンタイプセットの分析からウェハマップを作成。これには、ピークパラメータとピーク位置からの直接分析、および自動フィッティング(オプションが使用可能な場合)が含まれます。
• AMASSによる、XRDML形式、単純なASCII形式(*.asc)、および旧Philips形式(*.dnn、*.xnn、*.annおよび*ynn)のデータをサポート。
• カスタマイズ可能な結果レポート。PDF、RTF、XML、およびHTMLレポートをサポート。
• すべての分析がコマンドラインインターフェースを使用して完全な自動化が可能。APP (自動処理プログラム)によって制御されている場合、測定から結果レポートまでのプロセス全体を自動化可能。
• Phyton^TMやMatlab^®などのアプリケーションのAMASS機能の操作に適したコンポーネントオブジェクトモデル(COM)インターフェース。
  
• 2つのフィッティングアルゴリズムが選択可能。独自のフィッティング要件に合わせてソフトウェアをカスタマイズできます(オプションの場合のみ)。
• 指定したサンプルモデルの各パラメータの信頼性分析。この分析結果は、微細なパラメータの信頼性範囲の測定値です(オプションの場合のみ)。
• HRオプション:
  • シミュレートされたロッキングカーブを測定データに適合
  • 層を下の層に対して部分的に緩和することが可能。
  • ウルツ鉱構造の無極性aおよびm面の表面方向を完全にサポート。
• XRRオプション:
  • シミュレートされた反射曲線を測定データに適合。
  • モデル内の材料には、格子パラメータまたは密度勾配を持つ材料を含めることが可能(勾配タイプは、5つの種類を選択可能)。
  • 非鏡面分析には、フラクタル、階段波形、カステレーションの3つのインターフェース粗さモデルを選択可能。
  • 非鏡面分析(拡散)散乱データ(オメガ、2シータ、オフセットオメガ/2シータスキャン)を表示およびシミュレート可能。同一平面上のQx、Qz、非同一平面上のQx、Qy相互空間マップをシミュレート。

材料データベース 

ロッキングカーブ分析、ウェハマッピング、シミュレーション、フィッティングに必要なすべての材料データを含む広範な材料データベース: ユニットセルパラメータ、ポアソン比、一部の選択酸化物とすべての共通三次化合物半導体材料の単結晶剛性係数、および六角形GaN、AlN、InN。また、元素原子番号と質量、および異なる固定X線波長に応じた質量吸収と異常分散係数も含まれています。このデータベースは、任意の空間グループと材料の新しい構造、および他の波長の値を追加することで拡張できます。結晶構造情報と材料は、結晶学的情報ファイル(CIF)からインポートできます。

ユーザーマニュアル

アプリケーションガイドは、AMASSをすばやく効率的に使用できるようにすることを目的としています。12の各トピックでは、実際の使用例を示します。これらの例では、AMASSの最も重要な機能を説明しています。 

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仕様

現在のバージョン	2.0