Future Days semiconductor まとめ

半導体は世界中で社会の電化を推進しています。したがって、今年のFuture Days イベントが半導体に焦点を当てたものとなり、大成功を収めたのも驚くべきことではありません！

6月5日、私たちは業界の専門家を集め、炭化ケイ素（SiC）に焦点を当てました。この材料は、窒化ガリウムと共に、未来の重要な材料の一つになる可能性を秘めています。素晴らしい講演者のパネルは、結晶の配向、最新の研究開発ニュース、そして生産施設におけるブルからウェーハへについても議論しました。

これらの議論は非常に有益でした。なぜなら、ゲストが炭化ケイ素結晶に関する3つの視点を代表していたからです。炭化ケイ素を成長させるためのツール、プロセスを刺激するためのツール、そして結晶を最大収率で処理するためのツールです。

Future daysのまとめ

ホストのJaninka Feenstraからの温かい歓迎で始まり、プレゼンテーションはPVA TePlaの研究開発責任者であるDr. Slobodan Miticの講演からスタートしました。PVA TePlaは半導体業界の主要な製造技術開発を支援する、世界有数のシステムエンジニアリング企業です。

Slobodanは、SiC結晶成長プロセスに関連する課題、機会、革新について説明しました。講演の最後には、PVA TePlaがパートナーに提供する統合ソリューションのポートフォリオを紹介し、プラズマ処理や光学および化学計測を含むサービスを紹介しました。

さらに、STR（Semiconductor Technology Research）の事業開発ディレクターであるAndrey Smirnovによる2つの講演を聞く機会がありました。STRは結晶成長モデリング用の専門ソフトウェアとコンサルティングサービスを提供しています。最初の講演では、STRのVirtual Reactorソフトウェアが、目標とする生産特性を達成するためにリアクターハードウェアとプロセスパラメーターの調整をどのように提供できるかを示しました。

2つ目の講演「SiCフロントエンド用のCVD結晶成長シミュレーション」では、STRのCVDSim3Dソフトウェアを使用して、リアクター設計、表面コーティング、プロセス条件を最適化し、SiCエピ技術を改善する方法を効果的に示しました。

次に、Malvern Panalyticalの半導体セグメントマネージャーであるLars Griegerによる講演を大いに楽しみました。彼は、SiCスーパージャンクションMOSFETの開発をサポートするための結晶配向計測について詳しく説明しました。Larsは、なぜSiC成長において結晶配向が重要であるかを説明し、この重要な測定に特化したMalvern Panalycalの新しい製品ラインを紹介しました。

Larsは、グローバルマーケティングスペシャリストのSéverine Michelと半導体製品マネージャーのDr. Kristin Gratzに特別な感謝の言葉を述べ、この素晴らしいイベントが彼らなしでは実現しなかったことを強調しました。

その後、PVA TePlaのマネージングディレクターであるDennis Seibertによる講演が続きました。彼は、今日の製造業者に利用可能な最先端の半導体技術について説明しました。

彼は、SiCが高出力用途や脱炭素化に対してなぜ有望であるか、なぜプロセス制御と安定性が高収率と収益性の達成に重要であるか、そしてPVA TePlaの幅広いソリューションポートフォリオがどのように価値連鎖の中で重要なパートナーとなるかを説明しました。

もう一つの素晴らしい講演は、Malvern Panalyticalの結晶成長アプリケーションスペシャリストであるDirk Kokによるものでした。彼は、結晶配向測定がシードからウェーハプロセスをサポートする方法と、生産の各ステップでの効率的な分析によって得られる利点について説明しました。

これには、ウェーハマッピングやオフカットマッピングが含まれ、平坦/ノッチ研削およびトップ＆直径研削のための重要な情報を提供します。彼は、インシチュ測定、インゴットスタッキング、研磨およびエンドコントロールの利点を紹介し、これらすべてがMalvern Panalyticalの機器で提供できることを強調しました。

半導体専門家との交流

各プレゼンテーションの後には、Slobodan、Andrey、Dennis、Lars、Dirkによる発表テーマに関する活発なディスカッションが行われました。イベントの最後は、アジアの半導体市場や自動車業界がSiCの革新を推進する役割などの話題についての円卓会議で締めくくられました。

私たちは、このイベントを2年連続で開催できたことを非常に嬉しく思います。これも、参加してくださった皆様のおかげです！ゲストの専門家によるプレゼンテーションとディスカッションを楽しんでいただけたなら幸いです。今後の情報もどうぞお楽しみに。