2830 ZT 预安装手册
Versionsnummer: 4
2830 ZT
Der wellenlängendispersive Wafer-Analyzer (WDRFA) 2830 ZT bietet die ultimativen Möglichkeiten zur Messung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten. Speziell für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie entwickelt, ermöglicht der Wafer-Analyzer 2830 ZT die Bestimmung der Zusammensetzung, der Dicke, des Dotierungsgrads und der Oberflächenbeschaffenheit von Schichten bei Wafern von bis zu 300 mm.
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Benutzerhandbücher
2830 ZT Pre-installation manual
Versionsnummer: 4
2830 ZT User Guide
Versionsnummer: 2
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