2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

Der wellenlängendispersive Wafer-Analyzer (WDRFA) 2830 ZT bietet die ultimativen Möglichkeiten zur Messung der Dicke und Zusammensetzung von Schichten. Speziell für die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie entwickelt, ermöglicht der Wafer-Analyzer 2830 ZT die Bestimmung der Zusammensetzung, der Dicke, des Dotierungsgrads und der Oberflächenbeschaffenheit von Schichten bei Wafern von bis zu 300 mm.

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Leistungsmerkmale

Schneller kontinuierlicher Betrieb

Die 4-kW-SST-mAX-Röntgenröhre verfügt über die bahnbrechende ZETA-Technologie, durch die Röhrenalterungseffekte eliminiert werden. Die Leistung der Röhre bleibt während ihrer gesamten Lebensdauer wie im Neuzustand erhalten. Somit sind hohe Empfindlichkeit, schnelle Analysen und kurze Messzeiten dauerhaft gewährleistet. Die ZETA-Technologie reduziert zuverlässig die Notwendigkeit von Driftkorrekturen und Rekalibrierungen und erhöht somit die Produktivität und Betriebszeit des Geräts.

Maximierte Betriebsverfügbarkeit

Bei konventionellen Röntgenröhren verdampft Wolfram, wodurch sich auf der Innenseite des Berylliumfensters der Röhre Ablagerungen bilden. Beim Einsatz solcher Röntgenröhren müssen an den Geräten turnusmäßig Driftkorrekturen durchgeführt werden, um die abnehmende Intensität, insbesondere bei leichten Elementen, zu kompensieren. 

Beim 2830 ZT wird dieses Driftproblem durch Verwendung der SST-mAX-Röhre reduziert, wodurch die Betriebszeit des Geräts maximiert und seine Genauigkeit langfristig erhalten bleibt.

Einfache Bedienung

Zum Lieferumfang des 2830 ZT gehört die hoch entwickelte Software SuperQ. Diese verfügt über FP Multi, ein Software-Paket, das speziell für die Analyse von Multi-Layern konzipiert ist. Die Benutzeroberfläche der Software sorgt dafür, dass selbst unerfahrene Bediener die vollständige automatische Parameteranalyse von Multi-Layern durchführen können.
Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl von benutzerfreundlichen Modulen, die für eine flexible Bedienung durch Forscher und Ingenieure konzipiert sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

FALMO-2G

Der FALMO-2G kann in Laboren und Halbleiterwerken problemlos integriert werden, da er ein einfaches manuelles Laden aus der Kassette ebenso unterstützt wie die vollständige Automatisierung. Dank des hochflexiblen Konzepts stehen FOUP, SMIF und offene Kassetten-Ladeöffnungen zur Auswahl, als Einfach- oder Zweifachausführung. Die verschiedenen Konfigurationen des FALMO-2G werden alle von der GEM300-konformen Software unterstützt. Die Stellfläche des FALMO-2G wurde minimiert, ohne Flexibilität und Funktionalität zu beeinträchtigen. 

Anwendungen

Flexibler Betrieb

Die SuperQ-Software des Geräts verfügt über eine Vielzahl anwenderfreundlicher Module, die für den flexiblen Einsatz in Forschung und Technik ausgelegt sind. Der Wechsel zwischen Rezepten ist einfach, ebenso die Anpassung der Geräteparameter an die Anwenderpräferenzen.

Spezifikation

Support

Service und Support

Renditeoptimierte Lösungen

Um den einwandfreien Zustand und die höchstmögliche Leistung Ihres Gerätes zu gewährleisten, bietet Malvern Panalytical eine große Bandbreite an Dienstleistungen an. Unser Know-how und unsere Support-Dienstleistungen gewährleisten einen optimalen Betrieb Ihres Geräts.

Support

Lebenslanger Kundendienst

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstverträge
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

Wertschöpfung für Ihre Prozesse 

  • Analytische Methoden 
  • Beratungsservices

Schulung und Weiterbildung

  • Schulung vor Ort oder in unseren Kompetenzzentren
  • Breites Angebot an Basis- und Aufbaukursen zu Produkten, Anwendungen und Software

Analyse-Dienstleistungen und Kalibriermaterialien

  • Expertenanalysedienstleistungen (RFA)
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