XRD-OEM

Vollautomatische Inline-Ausrichtung und Handhabung von Barren, Säulen und Pucks

Der XRD-OEM ist ein vollständig integrierbarer Messkopf mit Kristallausrichtung, der einen zuverlässigen Betrieb und genaue Messungen auch unter den anspruchsvollsten Umgebungen gewährleistet.

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Übersicht

XRD-OEM bringt die Kristallorientierungs-Messtechnik auf die nächste Stufe. Dieses Röntgendiffraktometer wurde entwickelt, um den anspruchsvollen Bedingungen beim Pulverisieren und Sägen standzuhalten, und lässt sich nahtlos in jedes Verarbeitungssystem integrieren. Gleichzeitig werden hohe Präzision und Geschwindigkeit geboten.

Leistungsmerkmale und Vorteile

Kompakt und vernetzt

Das XRD-OEM lässt sich mühelos in jedes Verarbeitungssystem integrieren und ermöglicht eine optimierte, effiziente und kontinuierliche Ausrichtungsmessung, ohne Proben zwischen Geräten wechseln zu müssen.

Kompakt und vernetzt

Robust

Der XRD-OEM ist auf Langlebigkeit und Widerstandsfähigkeit ausgelegt und kann anspruchsvollen Umgebungen wie Schleif- und Sägeprozessen eingesetzt werden. Er ist auf Dauer zuverlässig und gewährleistet sowohl hohe Produktivität als auch hohen Durchsatz.

Robust

Schnell und präzise

Mit Messungen, die in nur 10 Sekunden pro Probe durchgeführt werden, liefert XRD-OEM hohe Produktionsraten ohne Kompromisse bei der Präzision mit einer Standardabweichung von weniger als 0,003o aufgrund der Verwendung der azimutalen Scanmethode.

Schnell und präzise

Praktisch

XRD-OEM ist in der Lage, die geometrische Referenz zu erkennen, egal ob es sich um eine flache oder eine Kerbe handelt, eine wichtige Komponente bei der Vor-Justage großer Barren vor dem Sägen oder Pulverisieren.

Es kann die Kristallausrichtung sowohl auf flachen Oberflächen als auch auf Umfängen bestimmen und bietet so zusätzliche Vielseitigkeit.

Praktisch

Wichtigste Anwendungen

Produktion und Verarbeitung
XRD-OEM wurde speziell für Ihre aktive Produktionsumgebung entwickelt. Als Inline-Gerät lässt es sich in Ihr automatisiertes System für hohen Durchsatz integrieren, um eine effiziente Lösung für die Messung und Handling von Barren, Säulen und Panels zu schaffen. Dank seiner Luftkühlung und seiner kompakten Größe ist es für die Messung einer Reihe von Verbundhalbleitermaterialien wie Si, SiC, GaAs und vielen mehr geeignet. Er stellt eine leistungsstarke und kostengünstige Ergänzung Ihres Prozesses dar.

Vorausrichtung von Barren vor dem Sägen oder Mahlen
Mit seinen präzisen Vorausrichtungsfunktionen ermöglicht das XRD-OEM eine präzise Positionierungs- und Orientierungssteuerung vor weiteren Verarbeitungsschritten.
Qualitätskontrolle
Schnelle Orientierungsmessungen sind in der Produktion von entscheidender Bedeutung, und XRD-OEM liefert schnell qualitativ hochwertige Daten. Durch die nahtlose Integration in Ihre neuen oder bestehenden automatisierten Prozesse hilft XRD-OEM Ihnen, sich schon heute auf die automatisierte Zukunft der Fertigung vorzubereiten.

Spezifikation

Kerbposition 0,005°
Kerbtiefe 0,005 mm
Kerbprofilwinkel, typisch < 0,5°
Durchmesser 0,02 mm
Flache Position < 0,03°
Flache Länge < 0,3 mm

Unterstützung

Support-Services 

  • Hilfe am Telefon und Fernwartung
  • Präventive Wartung und Checkups
  • Flexible Kundendienstverträge
  • Leistungszertifikate
  • Software- und Hardware-Upgrades
  • Lokaler und globaler Support

Know-how

  • Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermetrologie
  • Automatisierung und Beratung
  • Schulung und Weiterbildung
Wagen Sie mit dem Inline-XRD-OEM den Sprung in die Automatisierung.

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Mit dem Inline-XRD-OEM profitieren Sie selbst in anspruchsvollen Umgebungen von höherer Produktivität, herausragender Qualitätskontrolle Ihrer Kristalle und optimierten Produktionsprozessen.

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