Übersicht
Wafer XRD 300 ist ein Hochgeschwindigkeits-Röntgendiffraktometer, das 300-mm-Wafer analysieren kann und wichtige Daten wie Kristallausrichtung, geometrische Merkmale wie Durchmesser oder Kerbposition und vieles mehr liefert. Er passt auf das Frontend zur Handhabung von Wafern für Ihren gewünschten Fertigungsschritt.
Leistungsmerkmale und Vorteile
Extrem schnell und präzise: Azimut-Scanmethode
Die Azimut-Scanmethode erfordert nur eine Messrotation, um alle erforderlichen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu erfassen, wodurch die Ergebnisse innerhalb von 10 Sekunden ohne Beeinträchtigung der Genauigkeit erzielt werden können.
Die Probe wird um 360o gedreht, wobei die Röntgenquelle und der Detektor positioniert sind, um eine bestimmte Anzahl von Reflexionen pro Umdrehung zu erreichen. Durch diese Reflexionen kann die Ausrichtung des Kristallgitters in Bezug auf die Rotationsachse mit hoher Präzision von 0,003o gemessen werden.
Vollautomatischer Prozess
Mit Messungen, die in nur 10 Sekunden pro Probe durchgeführt werden, ermöglicht Ihnen Wafer XRD 300, jeden Wafer zu prüfen, der Ihren Prozess durchläuft, und ist somit ein leistungsfähiges und effizientes Element in Ihrem QK-Prozess.
Dank des geringen Energieverbrauchs und der luftgekühlten Röntgenröhre sind die Betriebskosten des Wafer XRD 300 niedrig – es ist keine Wasserkühlung erforderlich.
Einfache Verbindung
Das Gerät kann mithilfe verschiedener MES-, SECS/GEM- und ähnlicher Schnittstellen problemlos in bestehende Prozesse in Produktionsumgebungen integriert werden.
Tiefere Einblicke
Hochgenaue Messung der Kristallorientierung von Si-Wafern.
Mit dem Wafer XRD 300 erhalten Sie nie dagewesene Einblicke in Materialien und können Folgendes messen:
- Kristallausrichtung
- Kerbposition, Tiefe und Öffnungswinkel
- Durchmesser
Wichtigste Anwendungen
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- Produktion und Verarbeitung
- Die Fortschritte in der Automatisierung verändern unsere Branchen – und der Wafer XRD 300 ist führend in dieser Branche als praktische, leistungsstarke Lösung für die Verwaltung von Ausrichtungsmessungen mit beispielloser Geschwindigkeit.
- Qualitätskontrolle
- Der Wafer XRD 300 bietet eine beispiellose Effizienz und Vielseitigkeit bei der Qualitätskontrolle in der Produktion und liefert hochgenaue Ergebnisse in weniger als 10 Sekunden.
- Er eignet sich gut für 300-mm-Produktionsumgebungen, bei denen die Integration in die benutzerdefinierte Automatisierung entscheidend ist.
Spezifikation
| Durchsatz | Mehr als 10.000 Wafer pro Monat |
| Wafergeometrie | Auf Anfrage |
| Neigungsgenauigkeit | 0,003 |
| XRD-Achse vs. Kerb-/Flachposition | 0,03° |
Unterstützung
Support-Services
- Hilfe am Telefon und Fernwartung
- Präventive Wartung und Checkups
- Flexible Kundendienstverträge
- Leistungszertifikate
- Software- und Hardware-Upgrades
- Lokaler und globaler Support
Know-how
- Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermetrologie
- Automatisierung und Beratung
- Schulung und Weiterbildung
