Probenhalter
Für SDCOM sind verschiedene Probenhalter erhältlich, mit denen Sie kleinere, größere oder unregelmäßige Proben problemlos verarbeiten können.
Übersicht
Eine schnelle und präzise Messung der Kristallausrichtung war noch nie so einfach. Lernen Sie SDCOM kennen – Ihr benutzerfreundliches und kompaktes XRD. Mit der Azimut-Scanmethode können Sie ultraschnelle Messungen durchführen und erhalten Ergebnisse in weniger als zehn Sekunden.
Das SDCOM bietet höchste Präzision von bis zu 0,01o und unterstützt eine Vielzahl von Zubehör. Es ist die ideale Lösung für viele Anwendungen in der Wafer-Verarbeitung und Forschung.
Leistungsmerkmale und Vorteile
Schnell und präzise: Azimut-Scanmethode
Die Azimut-Scanmethode erfordert nur eine Messrotation, um alle erforderlichen Daten zur vollständigen Bestimmung der Ausrichtung zu erfassen. Sie liefert innerhalb von 10 Sekunden Ergebnisse – ohne Kompromisse bei der Genauigkeit.
Die Probe wird um 360o gedreht, wobei die Röntgenquelle und der Detektor so positioniert werden, dass sie eine bestimmte Anzahl von Reflexionen pro Umdrehung erreichen. Durch diese Reflexionen kann die Ausrichtung des Kristallgitters in Bezug auf die Rotationsachse mit hoher Präzision von 0,01o gemessen werden.
Kompakt und vielseitig
Dank seiner leichten und kompakten Form kann das SDCOM leicht in Forschungs- und Industrieprozesse integriert werden. Die XRD Suite Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.
Flexibilität wird beim SDCOM ganz groß geschrieben, was sich besonders in der Vielzahl der Materialien zeigt, die gemessen werden können. Mit dem SDCOM können Kristalle mit einem Durchmesser zwischen 2 mm und 300 mm gemessen werden.
Um zusätzliche Flexibilität zu ermöglichen, unterstützt das SDCOM auch Theta-Scans. Damit können Sie eine noch größere Auswahl an Materialien und Reststücken abdecken.
Es gibt auch eine Vielzahl von Probenhaltern und Transfervorrichtungen, die noch weitere Möglichkeiten für Ihre SDCOM-Anwendungen bieten und mit Ihrem Workflow kompatibel sind. Manuelle und motorisierte Wafer-Mapping-Bühnen sind ebenfalls verfügbar.
Beispiele für messbare Materialien sind (Azimut-Scan-Methode):
- Kubisch, mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, InP
- Kubisch, mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
- Tetragonal: MgF2, TiO2, SrLaAlO4
- Hexagonal und trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2 (Quarz), Al2O3 (Saphir), GaPO4, La3Ga5SiO14
- Orthorhombisch: Mg2SiO4, NdGaO3
- Jedes andere einkristalline Material
Kostengünstig
Die Röntgenröhre des SDCOM ist luftgekühlt, sodass kein Kühler und kein Kühlwasserkreislauf erforderlich sind. Dank der Effizienz und der geringen Stellfläche des SDCOM werden Ihr Energieverbrauch und Ihre Betriebskosten auf ein Minimum reduziert.
Wichtigste Anwendungen
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- Markieren und Messen von In-Plane-Richtungen
- Das SDCOM liefert ultraschnelle, hochpräzise Kristallausrichtungsmessungen, die ideal für eine Reihe von Anwendungen in der Waferherstellung und -verarbeitung geeignet sind, einschließlich der Markierung und Messung von In-Plane-Richtungen. Leicht und mobil kann das System überall dort eingesetzt werden, wo Sie es benötigen.
- Das SDCOM ist in der Lage, kleine Kristalle von bis zu 1 mm mit hoher Präzision und viele weitere Materialien zu messen. Es erfüllt damit ideal die komplexen und sich ändernden Anforderungen in der Halbleiterindustrie.
- Kontrolle der Produktionsqualität
- Die routinemäßige Prozesssteuerung erfordert Geschwindigkeit, Präzision und Wiederholbarkeit – und genau das liefert SDCOM. Die ultraschnellen Messungen sorgen dank des Desktop-Formats und der luftgekühlten Röntgenröhre für eine Produktivitätssteigerung, ohne dabei die Betriebskosten wesentlich zu beeinträchtigen.
- Materialforschung
- Das SDCOM kann eine Vielzahl von Kristalltypen auf kleinem Raum im Labor messen und eignet sich ideal für Standardarbeitsabläufe in der Forschung. Die Betriebskosten werden durch minimalen Energieverbrauch und eine luftgekühlte Röntgenröhre ohne Bedarf an Wasserkühlung niedrig gehalten.
- SDCOM ist auch manuell gut zugänglich und einfach zu bedienen, was es zu einer praktischen Lösung für Forschungslabore mit vielen verschiedenen Bedienern macht.
Spezifikation
| Röntgenquelle | Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode |
| Detektoren | Szintillationszähler-Technologie |
| Probenhalter | Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, anpassbare Probenhalter und Transfervorrichtungen |
| Durchmesser der Probe | Zwischen 2 mm und 200 mm ø |
| Umgebungstemperatur | ≤ 30 °C |
| PC-Anforderungen | Windows 10 oder höher, NET Framework-Update, 2 Ethernet-Ports |
| Anforderungen an die Stromversorgung | 100–230 V, einphasig, 500 W |
| Abmessungen | 600 mm (L) x 600 mm (B) x 840 mm (H) |
| Gewicht | ca. 100 kg |
| Zertifizierung | Hergestellt nach ISO 9001-Richtlinien, CE-konform |
| Alle technischen Parameter können forschungs- und entwicklungsabhängig geändert werden | |
Zubehör
Transfervorrichtungen
Integrieren Sie SDCOM vollständig in Ihren Prozess, indem Sie spezielle Transfervorrichtungen hinzufügen, einschließlich Optionen für Sägedrähte, Schleifgeräte und vieles mehr.
Ausrichtungspaket für 150–200 mm große Barren/Kugeln
Messen Sie Ihre Proben, ohne Fehler bei der Ausrichtung zu machen, indem Sie Kerb- und Flachstopfen verwenden.
Probentisch für bis zu 300 mm Wafer/Ingots
Kann 300-mm-Wafer messen, den Industriestandard für die Hochleistungs-Halbleiterfertigung mit hoher Ausbeute.
Support
Support-Services
- Hilfe am Telefon und Fernwartung
- Präventive Wartung und Checkups
- Flexible Kundendienstverträge
- Leistungszertifikate
- Software- und Hardware-Upgrades
- Lokaler und globaler Support
Know-how
- Schlüsselfertige Lösungen für die elementare und strukturelle Halbleitermesstechnik
- Automatisierung und Beratung
- Schulung und Weiterbildung
