Gerät für Wafer-Mapping
Optionales Zusatzgerät für Untersuchung und Mapping der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen.
Bestimmen Sie mit unserer effizienten und genauen Methode die vollständige Kristallausrichtung binnen Sekunden. Aufgrund des niedrigen Energieverbrauchs und der niedrigen Betriebskosten eignet sich das DDCOM ideal für Forschungs- und Industrieanwendungen.
Broschüre herunterladenUltraschnelle, präzise Kristallausrichtung (bis zu 1/100o) auf Knopfdruck. Das DDCOM erfasst zuverlässige Ergebnisse über 100-mal schneller als herkömmliche Methoden und bietet eine zusätzliche Zeitersparnis durch die Bottom-up-Messgeometrie. Dieses äußerst vielseitige Gerät verfügt über eine luftgekühlte Röntgenröhre und ein mobiles Design, um niedrigere Betriebskosten und maximalen Komfort zu gewährleisten.
Diese Methode erfordert nur eine Scanrotation, um alle erforderlichen Daten für die Bestimmung der Kristallausrichtung zu erfassen. Die Messung der Rotationsachse erhöht den Durchsatz und liefert in nur wenigen Sekunden präzise Ergebnisse.
Behalten Sie die Kontrolle über Schneid-, Pulverisier- und Läppprozesse mit hoher Präzision von bis zu 1/100o. Das DDCOM liefert die vollständige Gitterausrichtung von Einzelkristallen. Durch die vorprogrammierten Kristallparameter kann das Gerät die beliebige unbekannte Ausrichtung verschiedener Strukturen bestimmen. Die Funktion für die Azimut-Einstellung bietet in Verbindung mit der Markierung der Kristallausrichtung Unterstützung bei der Verfeinerung des Arbeitsablaufs und erhöht so die Effizienz.
Dank der kompakten Bauweise des DDCOM passt das System in jede Umgebung. Die Software ist sowohl leistungsstark als auch intuitiv, sodass sie für eine Vielzahl von Benutzern bequem und einfach zu bedienen ist.
Das DDCOM ist sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsumgebungen, in denen eine Reihe von Probentypen analysiert werden müssen, bestens geeignet. Dank des geringen Energieverbrauchs und der luftgekühlten Röntgenröhre sind die Betriebskosten des DDCOM niedrig – es ist keine Wasserkühlung erforderlich.
Das Gerät kann eine Reihe verschiedener Materialien mit unterschiedlichen Strukturen messen und bietet so Flexibilität für jedes Labor. Beispiele für messbare Materialien:
Technische Spezifikationen | |
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Röntgenquelle | Luftgekühlte Röntgenröhre mit 30 W, Cu-Anode |
Detektoren | Zwei Szintillationszähler |
Probenhalter | Präziser Drehtisch, Einstellgenauigkeit 0,01°, Werkzeuge für definierte Probenpositionierung und -markierung |
Physische Spezifikationen | |
Abmessungen | 600 mm × 600 mm × 850 mm |
Gewicht | 80 kg |
Stromversorgung | 100–230 V, 500 W, einphasig |
Raumtemperatur | ≤ 30° C |
Konfigurationsmöglichkeiten | |
Gerät für das Mapping von Wafern (maximaler Durchmesser 225 mm) | |
Gerät zum automatischen Laden von Kassetten | |
Beispiele für messbare Materialien | |
Kubisch/mit beliebiger und unbekannter Ausrichtung: Si, Ge, GaAs, GaP, AlAs, AlP, InP, NaCl, AgCl, CaF 2 | |
Kubisch/mit spezieller Ausrichtung: Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC 3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl 2 O 4 , SrTiO 3 , LaTiO 3 | |
Tetragonal: MgF 2 , TiO 2 , SrLaAlO 4 | |
Hexagonal/trigonal: SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO 3 , SiO 2 (quartz), Al 2 O 3 (sapphire), GaPO 4 , La 3 Ga 5 SiO 14 | |
Orthorhombisch: Mg 2 SiO 4 , NdGaO 3 | |
Weitere Materialien je nach Kundenanforderungen |
Optionales Zusatzgerät für Untersuchung und Mapping der Kristallausrichtung oder von Oberflächenverzerrungen.
Ein zusätzliches Werkzeug zum automatisierten Laden von Proben aus einer Kassette verkürzt die Durchlaufzeit und verbessert die Effizienz des Arbeitsablaufs.
Profitieren Sie von vielseitigen, ultraschnellen Messungen der Kristallausrichtung kombiniert mit leistungsfähiger Automatisierung – und das alles in einem leichten und kosteneffizienten Tischgerät.