Die Röntgenstrahlen-Messtechnik ist das ideale Werkzeug für die Dünnschichtanalyse bei der Entwicklung und Massenproduktion verschiedener Layer-strukturierter mikro- und optoelektronischen Geräten.
Röntgenstrahlen-Messtechniken haben mit den Fortschritten in der Branche durch die Entwicklung neuer Layer-basierter Anwendungen und Technologien mitgehalten.
Von der F&E-Phase über die Pilotproduktion bis hin zur vollumfänglichen automatisierten Fertigung von Halbleiterbauelementen dienen sie weiterhin als wichtige Werkzeuge.
Lösungen zur Dünnschichtanalyse
Messwerkzeuge auf Basis von Röntgenmethoden wie XRD, XRR und RFAbieten nachweislich schnellen, zerstörungsfreien, zuverlässigen und präzisen Zugriff auf kritische Dünnschichtparameter von ultradünnen Single-Layers bis hin zu komplexen Multi-Layer-Stapeln.
Weitere Informationen zu unseren Dünnschichtanalysegeräten finden Sie unten.
