Die hochauflösende Röntgenbeugung ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die zerstörungsfreie Strukturanalyse von Epitaxieschichten, Heterostrukturen und Übergitterstrukturen.
Es handelt sich um ein Standardwerkzeug in der industriellen Produktion sowie in der Entwicklungsphase von epitaktisch gewachsenen Strukturen.
Beugungsdatenmuster
Aus den Beugungsmustern können viele wichtige Informationen gewonnen werden, darunter:
- Legierungszusammensetzung von Epitaxieschichten
- Homogenität von Epitaxieschichten
- Dicken von Epitaxieschichten
- Spannungen und Entspannung,
- Perfektion der Kristallstruktur im Verhältnis zu ihrer Versetzungsdichte
Auch die Entstehung von Interdiffusion und die Vermischung an Grenzflächen können unter bestimmten Umständen untersucht werden.
Datenanalyse
Für eine Schnellprüfung können die Peakpositionen des Substrats und der Schichten für die Analyse verwendet werden.
Bei der quantitativen Bestimmung der relevanten Parameter werden jedoch im Allgemeinen Vollbereichs-Simulationen auf Basis der Theorie der dynamischen Streuung angewendet.
