Analyse von epitaktischen Schichtstrukturen
Die hochauflösende Röntgenbeugung ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die zerstörungsfreie Strukturanalyse von Epitaxieschichten, Heterostrukturen und Übergitterstrukturen.
Es handelt sich um ein Standardwerkzeug in der industriellen Produktion sowie in der Entwicklungsphase von epitaktisch gewachsenen Strukturen.
Aus den Beugungsmustern können viele wichtige Informationen gewonnen werden, darunter:
Auch die Entstehung von Interdiffusion und die Vermischung an Grenzflächen können unter bestimmten Umständen untersucht werden.
Für eine Schnellprüfung können die Peakpositionen des Substrats und der Schichten für die Analyse verwendet werden.
Bei der quantitativen Bestimmung der relevanten Parameter werden jedoch im Allgemeinen Vollbereichs-Simulationen auf Basis der Theorie der dynamischen Streuung angewendet.
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| Technologie | |||
| Röntgendiffraktometrie (XRD) | |||
| Typ der Messung | |||
| Epitaxieanalyse | |||
| Phasenidentifizierung | |||
| Phasenquantifizierung | |||
| Grenzflächenrauheit | |||
| Dünnschicht-Messtechnik | |||
| Eigenspannung | |||
| Texturanalyse | |||
| Reciprocal-Space-Analyse | |||
| Partikelform | |||
| Partikelgröße | |||
| Bestimmung von Kristallstrukturen | |||
| Erkennung und Analyse von Verunreinigungen | |||
| 3D-Struktur/Bildgebung | |||
