Dünnschicht-Messtechnik

Verbesserung der Schichtqualität durch Dünnschicht-Messtechnik

Die auf Röntgentechnologie basierenden Dünnschicht-Messtechniken wie XRD, XRR und RFA sind schnelle und zerstörungsfreie Verfahren. Sie haben sich als besonders leistungsfähig erwiesen für die Ex-Situ-Untersuchung kritischer Materialparameter von Dünnschichten, Heterostrukturen und Übergittersystemen bis in den Nanometer-Bereich. 

Die Ergebnisse sind für die Optimierung der Schichtqualität essenziell, denn sie erhöhen die Produktionseffizienz und reduzieren Kosten. 

Malvern Panalytical bietet Ihnen die optimale Messtechnik für die Entwicklung und Produktionskontrolle von schichtbasierten Mikro- und optoelektronischen Bauteile an.

2830 ZT

2830 ZT

Fortgeschrittene Lösung für die Halbleiter-Dünnschicht-Messtechnik

X'Pert³ MRD

X'Pert³ MRD

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung und Entwicklung

X'Pert³ MRD XL

X'Pert³ MRD XL

Vielseitiges Röntgendiffraktometer für Forschung, Entwicklung und Qualitätskontrolle

Technologie
Wellenlängendispersive Röntgenfluoreszenzanalyse (WDRFA)
Typ der Messung
Dünnschicht-Messtechnik
Chemische Identifikation
Elementaranalyse
Erkennung und Analyse von Verunreinigungen
Quantifizierung von Elementen