Análise de estruturas em camadas epitaxiais
A difração de raios X de alta resolução é uma ferramenta avançada para a análise estrutural não destrutiva das camadas epitaxiais, das heteroestruturas e dos sistemas de supercela.
Trata-se de uma ferramenta padrão usada na produção industrial, bem como durante a fase de desenvolvimento de estruturas crescidas epitaxiais.
Muitas informações importantes podem ser obtidas a partir dos padrões de difração, incluindo:
Até mesmo a formação de interdifusão e intermistura de interfaces pode ser investigada sob determinadas circunstâncias.
Para uma inspeção rápida, as posições do pico do substrato e das camadas podem ser usadas para a análise.
Contudo, no geral, as simulações de padrão completo com base na teoria de dispersão dinâmica são aplicadas para a determinação quantitativa de parâmetros relevantes.
Variedades do EmpyreanA solução multifuncional para suas necessidades analíticas |
X'Pert³ MRDVersátil sistema XRD de pesquisa e desenvolvimento |
X'Pert³ MRD XLVersátil sistema XRD de pesquisa, desenvolvimento e controle de qualidade |
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| Tecnologia | |||
| X-ray Diffraction (XRD) | |||
| Tipo de medição | |||
| Análise de epitaxia | |||
| Identificação de fase | |||
| Quantificação de fase | |||
| Rugosidade da interface | |||
| Metrologia de filme fino | |||
| Tensão residual | |||
| Análise de textura | |||
| Análise de espaço recíproco | |||
| Forma da partícula | |||
| Tamanho da partícula | |||
| Determinação de estrutura cristalina | |||
| Detecção e análise de contaminantes | |||
| Estrutura/imagem 3D | |||
